放射线敏感性树脂组合物、固化膜、固化膜的形成方法和显示元件技术

本发明专利技术涉及一种放射线敏感性树脂组合物、固化膜、固化膜的形成方法和显示元件。该放射线敏感性树脂组合物兼具保存稳定性和低温焙烧的优点，且具有足够的分辨率和放射线敏感度，该固化膜作为固化膜的要求特性的耐热性、耐光性、耐试剂性、平坦性、电压保持率等优异。该放射线敏感性树脂组合物含有[A]具有环氧基的化合物、[B]具有乙烯性不饱和键的聚合性化合物、[C]放射线敏感性聚合引发剂和[D]由下式(1)和式(2)表示的化合物构成的群组中选出的至少一种。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及优选作为层间绝缘膜、保护膜或分隔物等固化膜形成材料的放射线敏感性树脂组合物、由该组合物形成的固化膜、该固化膜的形成方法和具有该固化膜的显示元件。
技术介绍
作为形成层间绝缘膜、分隔物、保护膜等的材料，广泛使用放射线敏感性树脂组合物。作为该放射线敏感性树脂组合物，公开有例如含有由不饱和羧酸、含环氧基的不饱和化合物等构成的共聚物的组合物(参见日本特开2001-3M822号公报)。然而，作为液晶显示元件分隔物，为了提高表面硬度、达到实际商业上的要求，需要在200°C以上的高温下焙烧的工序。另一方面，近年来为了提高对比度，使用溶解性优异的染料的着色抗蚀剂逐步得到普及。通常，染料与颜料相比，耐热性较差，在200°C以上的焙烧工序中发现存在褪色等现象。因此，期望通常需要在200°C以上的显示器制造中的焙烧工序能实现低温化。鉴于上述事实，开发了即使在低温焙烧下，也能固化的含有聚酰亚胺前体的柔性显示器用的门绝缘膜用涂布液的技术(参见日本特开2009-4394号公报)。然而，该涂布液无法通过曝光显影形成图案，因此不能形成微细的图案。此外，由于固化反应进行得不够充分，因此所得固化膜除耐热本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种放射线敏感性树脂组合物，其含有［Ａ］具有环氧基的化合物、［Ｂ］具有乙烯性不饱和键的聚合性化合物、［Ｃ］放射线敏感性聚合引发剂，和［Ｄ］由下式（１）和式（２）表示的化合物构成的群组中选出的至少一种，在式（１）中，Ｒ１～Ｒ６各自独立地为氢原子、吸电子性基团或氨基，其中，Ｒ１～Ｒ６中的至少一个是吸电子性基团，Ｒ１～Ｒ６中的至少一个是氨基，上述氨基的全部或部分氢原子可以用碳原子数为１～６的烷基取代，在式（２）中，Ｒ７～Ｒ１６各自独立地为氢原子、吸电子性基团或氨基，其中，Ｒ７～Ｒ１６中的至少一个是氨基，上述氨基的全部或部分氢原子可以用碳原子数为２～６的烷基取代，Ａ为单键、羰基、羰基氧基、羰基亚甲...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：米田英司，西信弘，儿玉诚一郎，猪俣克巳，
申请(专利权)人：JSR株式会社，
类型：发明
国别省市：JP