本发明专利技术提供了一种可自由倾动地夹持输送对象的夹持装置、输送装置及旋转传动装置。本发明专利技术的输送装置包括在机械手(4)上由支撑部(7)支撑的衬垫(6)。衬垫(6)处形成有凹部(8a)，通过所述凹部(8a)与固定在机械手(4)上的支撑部(7)的咬合，可倾动地支撑衬垫(6)。通过衬垫(6)的黏着层(10)的黏着来夹持输送对象，通过衬垫(6)相对于衬垫(4)的倾动运动，迎合输送对象的形状或追踪其振动，从而实现对输送对象的稳定输送。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种使输送对象能够自由倾动的夹持装置、输送装置及旋转传动装置。
技术介绍
在传输LSI (Large Scale Integration)用半导体基板、显示屏用玻璃基板等(以下简称为“基板”)的输送装置中有一种通过安装在机器人臂前端的机械手来夹持基板的传输装置。此种输送装置需要基板确切的夹持位置和高度位置，并且对机械手夹持基板的夹持机构具有多种形态。在专利文献1中，公开了一种基板输送机械手，其基板装载面经辐射率小的金属膜成膜处理。此基板输送机械手可抑制进入加热室、成膜室等时机械手温度的升高，同时还能够减少热量向机械手上装载的基板移动。根据以上特点，可防止热变形造成的基板翘曲等，从而稳定且良好地输送。传统技术的文献专利文献专利文献1 专利公开2006-237256号公报(段落0024，图2)
技术实现思路
然而，专利文献1中记载的基板输送机械手，通过防止基板的热变形对未变形的基板可以进行稳定输送，但并没有提及如何稳定地输送已发生变形的基板。通过将基板装载在机械手上平面状的基板装载部来对基板进行夹持，而当基板已经发生变形时，基板与基板装载部间的接触面积缩小，从而导致基板的夹持性明显降低。有鉴于此，本专利技术的主要目的在于，提供一种能够抑制输送对象形状变化所造成的影响，稳定地夹持对象的夹持装置、输送装置及旋转传动装置。为达到上述目的，本专利技术的技术方案是这样实现的本专利技术中一种形态的夹持装置，包括基座、夹持部、支撑部。所述夹持部，包括夹持夹持对象的第一面，和与所述基座相对的面的第二面。所述支撑部，配置于所述基座和所述第二面之间，所述夹持部相对于所述基座自由倾动。本专利技术中另一种形态的输送装置是用于输送输送对象物的输送装置，包括机械手、夹持部、支撑部。所述机械手，包括装载有所述输送对象的装载面。所述夹持部，包括夹持所述输送对象的第一面，和与所述装载面相对的第二面。所述支撑部，配置于所述装载面与所述第二面之间，由可使所述夹持部相对于所述装载面自由倾动的非弹性体构成。本专利技术中另一种形态的旋转传动装置，包括第一旋转盘、传动部、凹部、支撑部、咬合部、第二旋转盘。所述传动部，包括第一面、与所述第一旋转盘相对的第二面。所述凹部，由所述第一旋转盘与所述第二面中任何一方形成。所述支撑部由非弹性体构成，所述非弹性体配置于所述第一旋转盘与所述第二面之间，通过与所述凹部的咬合，使所述传动部相对于第一旋转盘自由倾动。所述咬合部配置在所述支撑部的周围，使所述第一旋转盘与所述旋转部在旋转方向上咬合。所述第二旋转盘与所述第一面接触。附图说明图1为实施例1中输送装置的立体图2为实施例1中输送装置机械手的立体图3为实施例1中输送装置夹持机构的剖面图4为实施例1中输送装置粘着材料层的示意图5为实施例1中输送装置的夹持机构夹持基板的示意图图6为实施例2中夹持机构的剖面图7为实施例3中夹持机构的剖面图8为实施例4中夹持机构的剖面图9为实施例5中夹持机构的剖面图10为实施例6中夹持机构的剖面图11为实施例7中夹持机构的剖面图12为实施例8中夹持机构的剖面图13为实施例9中夹持机构的剖面图14为实施例10中夹持机构的剖面图15为实施例11中旋转传动装置的剖面图。具体实施例方式本专利技术的一个实施例中，夹持装置包括基座、夹持部、支撑部。所述夹持部，包括夹持夹持对象的第一面和位于所述基座对面的第二面。所述支撑部，配置于所述基座与所述第二面之间，且所述夹持部相对于所述基座自由倾动。所述夹持装置，将夹持对象夹持在夹持部的第一面。由于夹持部支撑于支撑部，因此易于随基板变形，其中，夹持部相对于基板自由倾动。从而，根据所述夹持装置可以根据夹持对象形状的变化，稳定地夹持夹持对象。所述夹持装置，包括由所述基座与所述第二面中任何一方形成的凹部，所述支撑部也可由非弹性材料构成，与所述凹部咬合。根据此构造，通过支撑部与凹部的咬合，可使夹持部相对于基座自由倾动。另外， 由于支撑部为非弹性材料构成，夹持部不会因基座移动所产生的惯性而相对于基座发生振动，可以稳定地夹持夹持对象。5所述支撑部也可由弹性体构成。根据此构造，支撑部通过弹性变形，可使夹持部相对于基座自由倾动。所述凹部形成于所述第二面上，所述支撑部是固定在所述基座上，并向所述夹持部侧突出，与所述凹部底部接触的凸部。根据此构造，通过凸部前端与凹部底部的点接触，支撑部可使夹持部相对于基座倾动。所述凹部形成于所述基座上，所述支撑部是固定在所述第二面上，并向所述基座侧突出，与所述凹部底部接触的凸部。根据此构造，通过凸部前端与凹部底部的点接触，支撑部可使夹持部相对于基座倾动。所述凹部形成于所述第二面上，所述支撑部是固定在所述基座上，并向所述夹持部侧突出，与所述凹部边缘接触的凸部。根据此构造，通过凸部与凹部边缘的线接触及滑动，支撑部可使夹持部相对于基座倾动。所述凹部形成于所述基座上，所述支撑部是固定在所述第二面上，并向所述基座侧突出，与所述凹部边缘接触的凸部。根据此构造，通过凸部与凹部边缘的线接触及滑动，支撑部相对于夹持部倾动地支撑。所述凹部形成于所述基座上并呈圆筒形状，所述支撑部也可以是固定在所述第二面上，并向所述基座侧突出的锥形凸部，凸部的底部形状与所述凹部底部形状相对应。根据此构造，通过凸部底部相对于凹部底部的倾斜，支撑部相对于夹持部倾动地支撑。另外，由于凸部底部的形状与凹部底部形状相对应，因此可以防止相对于支撑部的基座的位移。所述夹持装置安装于所述基座与所述夹持部之间，并且还包括限制部，可防止夹持部发生相对于基座的位移。根据此构造，可保持相对于夹持部的基座的位置。所述第一面也可由摩擦材料构成。根据此构造，通过摩擦材料的摩擦力，可夹持住夹持对象。所述摩擦材料，也可由通过电气控制黏着力的电黏着元件构成。根据此构造，可通过提高夹持夹持对象时的黏着力，以及减弱放开夹持对象时的黏着力，得到夹持对象的预定卡盘功能和适当的松盘功能。所述电黏着元件，还可包括绝缘性黏着性媒体和所述黏着性媒体中散布的电介质微粒，或半导体微粒构成的电黏着材料、向所述电黏着材料施加电压的电极。根据此构造，可通过控制向电极施加的电压，使电介质微粒或半导体微粒在黏着性媒体中移动，从而使电黏着材料的黏着性能够发生变化。本专利技术的另一个实施例中，输送装置是一种输送输送对象的输送装置，包括机械手、夹持部、支撑部。所述机械手，包括装载所述输送对象的装载面。所述夹持部，包括夹持所述输送对象的第一面，和在所述装载面对面的第二面。所述支撑部，安装于所述装载面与所述第二面之间，由非弹性体构成，所述非弹性体使所述夹持部相对于所述装载面自由倾动。所述输送装置通过夹持部的第一面，夹持并输送夹持对象物。夹持部由支撑部支撑，因此易于随基板变形，其中，所述支撑部指示所述夹持部相对于装载面自由倾动。从而， 通过所述输送装置，可以根据输送对象的形状进行稳定地夹持与输送。本专利技术的另一个实施例中，旋转传动装置包括第一旋转盘、传动部、凹部、支撑部、 咬合部、第二旋转盘。所述传动部包括第一面、与所述第一旋转盘相对的第二面。所述凹部由所述第一旋转盘和所述第二面中任意一方形成。所述支撑部安装在所述第一旋转盘与第二面之间，通过与所述凹部的咬合，使所述传动部相对于所述第一旋转盘自由倾动，支撑部由非弹性体构成。所本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种夹持装置，其特征在于，包括：基座；由夹持夹持对象的第一面及与所述基座相对的第二面构成的夹持部；配置在所述基座与所述第二面之间，使所述夹持部相对于所述基座自由倾动的支撑部。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：武者和博，南展史，安齐秀伸，樱井宏治，青山藤词郎，柿沼康弘，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，藤仓化成株式会社，学校法人庆应义塾，
类型：发明
国别省市：JP
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