【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种多晶硅尾气处理装置。属吸附分离工程
技术背景在多晶硅生产过程中要产生大量的反应尾气。尾气含有大量的氢气和少量 的氯化氢及氯硅垸等杂质。通常的做法是对该尾气采用三个轮流实现吸附、升 温再生、冷却再生功能的吸附塔构成的净化装置进行吸附净化处理。其再生时 大都采用部分净化氢气或者其它加热介质对吸附塔进行升温再生。由于加热方 式的不当，使吸附塔难以达到规定的再生温度，从而影响再生效果，使得氢气 收率低、净化气纯度低。严重的由于水或其它加热介质的泄漏严重影响产品质 量甚至造成爆炸事故，安全性能低。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术的上述缺点，为多晶硅尾气提供一种工 艺简单易行、安全性高、收率高、净化效果好的净化装置。实现本技术目的的多晶硅尾气处理装置由至少三个轮流实现吸附、升 温再生、冷却再生功能的吸附塔连接构成，其特征是在各塔之间还设置有一氢 气循环再生回路，该再生回路由连通于各塔间的循环管路和设在管路上的加热 器、压缩机和冷却器构成。和普通的吸附分离方法基本相同的是通过预先设置好的程序控制系统使待 净化尾气自动进入到那些已经再生好并且已经进...
【技术保护点】
多晶硅尾气的净化装置，由至少三个轮流实现吸附、升温再生、冷却再生功能的吸附塔连接构成，其特征是在各塔之间还设置有一氢气循环再生回路，该再生回路由连通于各塔间的循环管路和设在管路上的加热器、压缩机和冷却器构成。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：钟娅玲，钟雨明，曾启明，
申请(专利权)人：四川亚连科技有限责任公司，
类型：实用新型
国别省市：90[中国|成都]
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