【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种将图像投射在表面上的装置，包括-生成光束的光源；-设置在光束路径内的掩模；-设置在掩模后面的透镜，用于将掩模图像聚焦在表面上，其中该表面不与透镜平行。
技术介绍
特别是在脉冲激光沉积(PLD)领域，控制图像投射在表面上很重要。PLD中，激光光束呈一定角度投射在可烧蚀材料表面上。投射的图像是激光光束能量集中的光点。该能量使表面材料蒸发成等离子体烟柱(Plasma plume)，该烟柱可用来覆盖基底表面。PLD中，光点是掩模的图像，光点的均勻非常重要，这样激光能量会均勻分布。等离子体烟柱有必要与光点投射于其上的表面的固体材料在成分相一致。如果光点不均勻，有可能表面材料的某些成分变成等离子相，某些成分只熔化并形成液滴，而某些成分保持固态。而PLD中如果光束大体呈一定角度投射在表面上，光点总会有些不均勻。这种不均勻性在光束与表面之间夹角减小时尤为突出。关于措词“呈一定角度”，可以理解为光束不垂直也不平行于该表面。PLD领域的趋势是覆盖日益增大的基底表面。由于基底必须置于光束投射在其上的表面附近，光束通过其能够被引导到表面上的空间减少，并且光束与表面之间...
【技术保护点】
１．一种用于将图像投射在表面上的装置，包括：－生成光束的光源；－设置在光束路径内的掩模；－设置在掩模后面的透镜，用于将掩模图像聚焦在表面上，其中该表面不与透镜平行，其特征在于，沿掩模边缘的基本上每一位置到透镜的距离ｖ，与该掩模图像边缘的对应位置到透镜的距离ｂ，基本符合公式ｌ／ｖ＋ｌ／ｂ＝ｌ／ｆ，其中ｆ是透镜的焦距。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：J·J·布鲁伊克马特，
申请(专利权)人：索尔玛特斯有限责任公司，
类型：发明
国别省市：NL
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