【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光学薄膜成膜技术，特别是涉及一种光学薄膜成膜的直接式光学监控系统的技术。
技术介绍
光学薄膜的制备，是通过在样品片上镀制不同厚度的膜层，来达到设计要求的膜系结构。成膜作业时先将样品片放置在工件盘上，再加热蒸发源材料，使其蒸发附着在样品片上，由于蒸发源材料蒸发后在整个工件盘上通常是不均勻分布的，因此为了得到整个工件盘上膜厚的均勻分布，在环向上通常都使工件盘高速旋转来平均膜厚，在径向上则利用一定形状的修正板来进行修正。为了保证镀膜的膜层厚度能达到设计要求，在光学薄膜制备过程中还需要对膜层厚度进行监控，光学监控技术是光学薄膜制备过程中最有效的膜厚监控技术之一。光学监控方法的工作原理如下在成膜作业过程中用光源照射监控片，透过监控片的光或由监控片反射的光由透镜组件聚光后送入一光接收装置，在成膜过程中随着监控片上膜厚的增长，光接收装置接收到的光量信号(透过率或反射率)会呈现出类似正弦波的变化，根据光接收装置接收到的光量信号计算出监控片上的膜层厚度，再根据计算出的膜层厚度，由人工或计算机对成膜作业停止时刻进行判断，从而达到控制膜层厚度的目的。现有光学薄膜成膜的光学监...
【技术保护点】
１．一种光学薄膜成膜的直接式光学监控系统，包括成膜腔体、光源灯泡、光纤、聚光透镜组件和光接收装置，所述成膜腔体内设有一水平转动的工件盘，所述光源灯泡及聚光透镜组件均安装在成膜腔体内，所述光纤的输出端连接光接收装置，其受光端经聚光透镜组件光路。架上设有沿工件盘的径向移动的透镜固定件，并设有用于固定透镜固定件位置的透镜定位件，所述聚光透镜组件固定在透镜固定件上；所述光源支架上设有沿工件盘的径向移动的光源固定件，并设有用于固定光源固定件位置的光源定位件，所述光源灯泡固定在光源固定件上连接光源灯泡，且所述聚光透镜组件与光源灯泡之间的连接光路穿过工件盘；其特征在于：所述成膜腔体内固设...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：长家武彦，范宾，宫健，龙汝磊，
申请(专利权)人：光驰科技上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31
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