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光学薄膜成膜的直接式光学监控系统技术方案
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文档序号:7084962
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一种光学薄膜成膜的直接式光学监控系统,涉及光学薄膜成膜技术领域,所解决的是保证膜厚控制精度的同时提高产能的技术问题。该系统包括成膜腔体、光源灯泡、光纤、聚光透镜组件和光接收装置,所述成膜腔体内设有一水平转动的工件盘,所述光源灯泡及聚光透镜组...
该专利属于光驰科技(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过光驰科技(上海)有限公司授权不得商用。
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