可循环再用铜和铜合金表面微蚀刻处理系统技术方案

技术编号:7056415 阅读:316 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术公开了一种可循环再用铜和铜合金表面微蚀刻处理系统,微蚀刻工作槽,用于蚀刻处理循环再用的铜和铜合金;药剂电解再生及回收金属铜系统,用于将工作后药剂的微蚀能力再生恢复,进行电解再生回收处理;以及将微蚀工作槽及电解回收及再生槽连接并实现自动化稳定控制的自动控制系统;药剂电解再生及回收金属铜系统与线路板生产线微蚀刻工作槽以管道相连,经过处理的药剂通过管道重新回到微蚀工作槽中继续处理工件。本实用新型专利技术的电路板微蚀再生循环设备可以降低微蚀刻工艺的生产成本,提高铜及铜合金表面微蚀刻工艺的水平,并达到清洁生产实现零排放的目的。(*该技术在2021年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种电路板微蚀刻再生循环设备,特别是涉及一种可循环再用铜和铜合金表面微蚀刻处理系统
技术介绍
目前,中国电子产业进入一个飞速发展的阶段,特别是半导体/芯片/PCB行业,由于在人工成本,产业基础,配套产业及其它相关因素的优势,使半导体/芯片/PCB行业飞速往大陆地区转移,在今后的五到十年内,此趋势将会更加明显。而整个半导体/芯片/PCB线路板的制作流程,包括几十到上百道所谓干湿工艺流程,流程中产生大量废液废气等污染物,若不经恰当的处理,对我国的环境将产生非常大的负面影响。特别在半导体/芯片/线路板制作过程中,多次涉及线路铜及铜合金的表面处理,传统工艺从磨刷到不同的化学腐蚀,都会产生不同程度的废气、废渣或废液,在排放前必须经过进一步的处理。比如在半导体/芯片/线路板行业中,传统的化学微腐蚀清洁处理铜及铜合金表面是使用硫酸加氧化剂过硫酸钠(或铵)或者双氧水,其技术发展主要是在此药水体系的基础上,添加不同的有机或无机添加剂,以满足行业的发展和工艺技术进步的要求。最近几年,欧洲及美洲的线路板行业在面临越来越大的环保压力下,一方面向亚洲特别是中国,越南,印度等地方进行产业转移,同时本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可循环再用铜和铜合金表面微蚀刻处理系统,其特征在于其包括:微蚀刻工作槽,其内部设置有待加工工件和微蚀刻药剂,用于蚀刻处理循环再用的铜和铜合金;药剂电解再生及回收金属铜系统,用于将工作后药剂的微蚀能力再生恢复,进行电解再生回收处理;以及将微蚀工作槽及电解回收及再生槽连接并实现自动化稳定控制的自动控制系统;药剂电解再生及回收金属铜系统与线路板生产线微蚀刻工作槽以管道相连,经过处理的药剂通过管道重新回到微蚀工作槽中继续处理工件。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:章晓冬刘江波
申请(专利权)人:广州市天承化工有限公司
类型:实用新型
国别省市:81

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