一种扩散炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种扩散炉，涉及稀有金属粉体的煅烧、半导体材料的扩散和氧化以及光伏行业氮化硅、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、多晶硅的渡膜工艺技术领域，所要解决的技术问题是提供一种具有温度均匀稳定、温度扰动小、升温速度快等特点的一种扩散炉。其技术要点是机械框架上部固定炉膛、下部为控制柜，控制柜内安装有气氛系统和电气元件，炉膛双炉管设计，分上、下两层，每层一个炉膛、每个炉膛分3个温区，温区间设计有隔板结构，炉管材质选用高纯气炼石英，炉管可以自由进出炉膛，炉管一端带有可以拆卸的石英管帽，炉管与管帽采用磨砂结合油脂密封，炉管另一端接气氛系统。本实用新型专利技术操作简单，维护、维修十分方便。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于实验窑炉，具体是用于稀有金属粉体的煅烧、半导体材料的扩散和氧化以及光伏行业氮化硅、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、多晶硅的渡膜工艺。
技术介绍
扩散炉系列设备主要适用于稀有金属粉体的煅烧、半导体材料的扩散和氧化以及光伏行业氮化硅、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、多晶硅的渡膜工艺。目前，传统的扩散炉采用内嵌电阻丝加热，由于电阻丝在炉膛内没有固定，长时间使用后会收缩变形，呈不规则形状甚至绕在一起，造成短路烧毁，使设备无法正常使用；在设备结构设计上，传统设备大多为单管或并排设计，占地面积较大，不能很好的节省场地空间，不符合现代设备小巧、紧凑、节能、 美观的要求；另外，传统的扩散炉炉管两端和中间没有支撑，会造成高温情况下炉管的变形、弯曲甚至断裂现象，严重影响设备的使用和寿命。
技术实现思路
本技术一种扩散炉所要解决的技术问题是克服上述传统扩散炉的缺陷，提供一种具有温度均勻稳定、温度扰动小、升温速度快等特点的一种扩散炉。本技术所采取的技术方案是一种扩散炉由机械框架、炉膛、控制柜和炉管等组成，机械框架为上下结构，上部固定炉膛、下部为控制柜，控制柜内安装有气氛系统和电气元件，框架底部装有滚轮；炉膛采用FEC陶瓷纤维加热器加热，圆周式布置，耐材全部选用陶瓷纤维轻质材料咬口拼装而成，耐火层、保温层材质分别选用高铝纤维和硅酸铝纤维， 炉膛双炉管设计，分上、下两层，每层一个炉膛、每个炉膛分3个温区，温区间设计有隔板结构；控制柜与设备一体化设计，操作面板位于控制柜上部，操作面板上对应有温控仪表、电源开关和操作按钮；炉管材质选用高纯气炼石英，炉管可以自由进出炉膛，炉管一端带有可以拆卸的石英管帽，炉管与管帽采用磨砂结合油脂密封，炉管另一端接气氛系统，气氛系统采用浮子流量计控制。本技术的有益效果是有效的克服了目前传统的扩散炉内嵌电阻丝收缩变形和炉管的变形、弯曲甚至断裂现象，提高炉膛内的温度均勻性，保证物料的烧结品质，设备小巧、紧凑、节能、美观，操作简单，维护、维修十分方便。附图说明图1是本技术一种扩散炉主视图。1为机械框架，2为炉膛，3为控制柜，4为气氛系统，5为电气元件，6为滚轮，7为隔板结构，8为炉管，9为加热器，10为耐火层，11为保温层，12为管帽，13为操作面板，14为温控仪表，15为电源开关，16为操作按钮。具体实施方式 如图1，一种扩散炉，主要由机械框架1、炉膛2、控制柜3和炉管8等组成，机械框架1为上下结构，上部固定炉膛2、下部为控制柜3，控制柜3内安装有气氛系统4和电气元件5，框架底部装有滚轮6，可以移动，机械框架1主体全部采用国标A 3板材和型材焊接而成，为了设备外观美观大方，机械框架1表面全部采用独立式静电喷塑，维护、维修十分方便；炉膛2采用FEC陶瓷纤维加热器9加热，圆周式布置，耐材全部选用陶瓷纤维轻质材料咬口拼装而成，有效地保证了炉膛2的平整性、密封性，耐火层10、保温层11材质分别选用高铝纤维和硅酸铝纤维，炉膛2双炉管8设计，分上、下两层，每层一个炉膛2、每个炉膛2分 3个温区，温区间设计有隔板结构7，用以减少温区间的相互干扰，同时作为炉管8的支撑； 炉管8材质选用高纯气炼石英，炉管8可以自由进出炉膛2，炉管8 一端带有可以拆卸的石英管帽12，炉管8与管帽12采用磨砂结合油脂密封，炉管8另一端接气氛系统4，气氛系统 4采用浮子流量计控制；控制柜3与设备一体化设计，操作面板13位于控制柜3上部，操作面板13上对应有温控仪表14、电源开关15和操作按钮16。权利要求1.一种扩散炉，主要由机械框架(1)、炉膛(2)、控制柜(3)和炉管(8)等组成，炉膛(2) 采用FEC陶瓷纤维加热器(9)加热，圆周式布置，耐材全部选用陶瓷纤维轻质材料咬口拼装而成，耐火层(10)、保温层(11)材质分别选用高铝纤维和硅酸铝纤维，其特征在于所述的机械框架(1)为上下结构，上部固定炉膛O)、下部为控制柜(3)，控制柜(3)内安装有气氛系统(4)和电气元件(5)，框架底部装有滚轮(6)。2.根据权利要求1所述的一种扩散炉，其特征在于炉膛(2)双炉管(8)设计，分上、 下两层，每层一个炉膛O)、每个炉膛(2)分3个温区，温区间设计有隔板结构(7)。3.根据权利要求1所述的一种扩散炉，其特征在于控制柜(3)与设备一体化设计，操作面板(13)位于控制柜(3)上部，操作面板(13)上对应有温控仪表(14)、电源开关(15) 和操作按钮(16)。4.根据权利要求1所述的一种扩散炉，其特征在于炉管(8)材质选用高纯气炼石英， 炉管(8)可以自由进出炉膛(2)，炉管(8) —端带有可以拆卸的石英管帽(12)，炉管(8)与管帽(12)采用磨砂结合油脂密封，炉管(8)另一端接气氛系统G)，气氛系统(4)采用浮子流量计控制。专利摘要本技术公开了一种扩散炉，涉及稀有金属粉体的煅烧、半导体材料的扩散和氧化以及光伏行业氮化硅、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、多晶硅的渡膜工艺
，所要解决的技术问题是提供一种具有温度均匀稳定、温度扰动小、升温速度快等特点的一种扩散炉。其技术要点是机械框架上部固定炉膛、下部为控制柜，控制柜内安装有气氛系统和电气元件，炉膛双炉管设计，分上、下两层，每层一个炉膛、每个炉膛分3个温区，温区间设计有隔板结构，炉管材质选用高纯气炼石英，炉管可以自由进出炉膛，炉管一端带有可以拆卸的石英管帽，炉管与管帽采用磨砂结合油脂密封，炉管另一端接气氛系统。本技术操作简单，维护、维修十分方便。文档编号F27B17/02GK202092463SQ20112017339公开日2011年12月28日 申请日期2011年5月27日 优先权日2011年5月27日专利技术者吕文强, 杜可栋, 谭宏胜, 赵凤 申请人:合肥高歌热处理应用技术有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种扩散炉，主要由机械框架（１）、炉膛（２）、控制柜（３）和炉管（８）等组成，炉膛（２）采用ＦＥＣ陶瓷纤维加热器（９）加热，圆周式布置，耐材全部选用陶瓷纤维轻质材料咬口拼装而成，耐火层（１０）、保温层（１１）材质分别选用高铝纤维和硅酸铝纤维，其特征在于：所述的机械框架（１）为上下结构，上部固定炉膛（２）、下部为控制柜（３），控制柜（３）内安装有气氛系统（４）和电气元件（５），框架底部装有滚轮（６）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：谭宏胜，吕文强，杜可栋，赵凤，
申请(专利权)人：合肥高歌热处理应用技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：34