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本实用新型公开了一种扩散炉，涉及稀有金属粉体的煅烧、半导体材料的扩散和氧化以及光伏行业氮化硅、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、多晶硅的渡膜工艺技术领域，所要解决的技术问题是提供一种具有温度均匀稳定、温度扰动小、升温速度快等特点的一种扩散炉。其技术要点...
该专利属于合肥高歌热处理应用技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥高歌热处理应用技术有限公司授权不得商用。

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