【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种磁电阻传感器,更特别涉及一种采用磁性隧道结的多芯片推挽桥式磁电阻传感器。
技术介绍
磁性传感器广泛地应用于现代测量系统中,用以测量或检测物理参数,包括但不限于磁场强度、电流、位置、移动、方向。在现有技术中,已存在许多用于测量磁场和其他参数的不同类型的传感器。但是,在该技术中所熟知的是,这些技术都具有各自的局限性,例如,尺寸过大、灵敏度和/或动态范围不足、成本高、可靠性差和其他因素。因此,仍存在对改善型磁性传感器的需求,特别是能容易与半导体器件和集成电路及其生产方法集成为一体的传感器。磁性隧道结(MTJ)传感器具有高灵敏度、小尺寸、低成本、低功耗的优点。虽然MTJ 器件可以与标准半导体制造工艺兼容,但是还没有充分地开发出一种用于建立对低成本生产具有大批量的高灵敏度传感器的方法。尤其是,因MTJ传感器的磁电阻响应偏移导致的产量问题,以及当结合形成桥式传感器时,匹配MTJ元件的磁电阻响应已被证明存在很大困难。
技术实现思路
为克服现有技术中的上述问题,本专利技术提供了一种采用磁性隧道结的多芯片推挽桥式磁电阻传感器。本专利技术采用的技术方案是一种推挽式半桥磁电阻传感器,该传感器包括一或多对MTJ或GMR磁电阻传感器芯片,其中每对中有一个传感器芯片相对另一个旋转180度,且该等传感器芯片附于一标准半导体封装引线框;每个传感器芯片包括互相连接为一单一磁电阻元件的一或多个MTJ或GMR传感器元件;该MTJ或GMR元件具有在其磁电阻传输曲线上的某一段线性正比于外磁场的一电阻值;磁电阻传感器芯片具有相似的&和&值;传感器芯片的焊盘经设计以使得 ...
【技术保护点】
1.一种推挽式半桥磁电阻传感器,其特征在于该传感器包括: 一或多对MTJ或GMR磁电阻传感器芯片,其中每对中有一个传感器芯片相对另一个旋转180度,且该等传感器芯片附于一标准半导体封装引线框;每个传感器芯片包括互相连接为一单一磁电阻元件的一或多个MTJ或GMR传感器元件;该MTJ或GMR元件具有在其磁电阻传输曲线上的某一段线性正比于外磁场的一电阻值;磁电阻传感器芯片具有相似的RH和RL值;传感器芯片的焊盘经设计以使得在磁电阻元件的各侧可以附着一个以上的接合线;磁电阻芯片通过引线相互接合,并通过引线与引线框连接,以生产一推挽式半桥传感器。
【技术特征摘要】
2011.03.03 CN 201110050705.01.一种推挽式半桥磁电阻传感器,其特征在于该传感器包括一或多对MTJ或GMR磁电阻传感器芯片,其中每对中有一个传感器芯片相对另一个旋转180度,且该等传感器芯片附于一标准半导体封装引线框;每个传感器芯片包括互相连接为一单一磁电阻元件的一或多个MTJ或GMR传感器元件;该MTJ或GMR元件具有在其磁电阻传输曲线上的某一段线性正比于外磁场的一电阻值;磁电阻传感器芯片具有相似的&和&值;传感器芯片的焊盘经设计以使得在磁电阻元件的各侧可以附着一个以上的接合线; 磁电阻芯片通过引线相互接合,并通过引线与引线框连接,以生产一推挽式半桥传感ο2.如权利要求1所述的推挽式半桥磁电阻传感器,其中每个磁电阻传感器芯片的内在饱和场减去该传感器芯片传输曲线的偏置磁场大于该桥式传感器所要测量的最大磁场。3.如权利要求2所述的推挽式半桥磁电阻传感器,其中该等传感器芯片在组装前经过测试并分拣以更好地匹配其传输特性曲线。4.如权利要求3所述的推挽式半桥磁电阻传感器,其中两个半桥彼此相对90度定向以产生一双轴磁电阻传感器。5.如权利要求1所述的推挽式半桥磁电阻传感器,其中该引线框和传感器芯片封装在塑料中以形成一标准半导体封装。6.一种推挽式全桥磁电阻传感器,其特征在于所述传感器包括一或多对相同的MTJ或GMR磁电阻传感器芯片,其中每对中有一个传感器芯片相对另一个芯片旋转180度,且该等传感器芯片附于一标准半导体封装引线框;每个传感器芯片经配置为一对磁...
【专利技术属性】
技术研发人员:詹姆斯·G·迪克,金英西,沈卫锋,王建国,薛松生,雷啸锋,张小军,李东风,
申请(专利权)人:江苏多维科技有限公司,
类型:发明
国别省市:32
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