一种低成本金属硅电阻压力传感器制造技术

技术编号:10979875 阅读:129 留言:0更新日期:2015-01-30 16:44
本发明专利技术的目的旨在提供一种新型低成本金属硅电阻压力传感器,其输出精度高装配应力小,过载性能良好。一种低成本金属硅电阻压力传感器,其特征是包括金属硅电阻芯体和与之配合安装的芯体支座,金属硅电阻芯体与位于芯体支座上的绑定板通过导线连接;金属硅电阻芯体与芯体支座之间通过焊缝位置焊接固定,并且金属硅应变式芯体中部制有应力释放槽;金属硅应变片位于芯体支座与绑定板之间。金属硅电阻芯体与芯体支座激光焊接。本发明专利技术压力传感器结构采用金属硅电阻敏感器件作为敏感器件,不锈钢基座,与其他类似低成本类型压力变送器相比,具有高过载性能及高灵敏度输出,以及低装配应力性能。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术的目的旨在提供一种新型低成本金属硅电阻压力传感器,其输出精度高装配应力小,过载性能良好。一种低成本金属硅电阻压力传感器,其特征是包括金属硅电阻芯体和与之配合安装的芯体支座,金属硅电阻芯体与位于芯体支座上的绑定板通过导线连接;金属硅电阻芯体与芯体支座之间通过焊缝位置焊接固定,并且金属硅应变式芯体中部制有应力释放槽;金属硅应变片位于芯体支座与绑定板之间。金属硅电阻芯体与芯体支座激光焊接。本专利技术压力传感器结构采用金属硅电阻敏感器件作为敏感器件,不锈钢基座,与其他类似低成本类型压力变送器相比,具有高过载性能及高灵敏度输出,以及低装配应力性能。【专利说明】一种低成本金属硅电阻压力传感器
本专利技术属于传感器制造
,特别是一种金属硅电阻压力传感器的改进。
技术介绍
压力传感器是一种常见的信号转换装置,其通过压力敏感器件将压力值转换为电信号,以实现对被测物的压力测量与控制。一种典型的压力传感器结构如图2所示陶瓷压力传感器,由于中心感压电路陶瓷基座处于同一平面,当其膜片在装配时受到挤压力时感压电路会受到影响而改变输出,此改变会在装配后很长时间缓慢释放,造成产品输出变化。陶瓷传感器由于陶瓷基座形变能力差,导致其过载能力不强。
技术实现思路
本专利技术的目的旨在提供一种新型低成本金属硅电阻压力传感器,其输出精度高装配应力小,过载性能良好。 —种低成本金属娃电阻压力传感器,包括金属娃电阻芯体和与之配合安装的芯体支座,金属硅电阻芯体与位于芯体支座上的绑定板通过导线连接;金属硅电阻芯体与芯体支座之间通过焊缝位置焊接固定,并且金属硅应变式芯体中部制有应力释放槽;金属硅应变片位于芯体支座与绑定板之间。 金属娃电阻芯体与芯体支座激光焊接。 绑定板通过芯体支座上的注胶槽贴合粘接于芯体支座上,并与金属硅应变式芯体存在间隙。 本专利技术压力传感器结构采用金属硅电阻敏感器件作为敏感器件,不锈钢基座,与其他类似低成本类型压力变送器相比,具有高过载性能及高灵敏度输出,以及低装配应力性能。 【专利附图】【附图说明】 图1为本专利技术结构示意图, 图2为现有压力传感器结构示意图。 【具体实施方式】 如图1所示,本专利技术所提供的压力传感器包括了绑定板1、芯体支座2、金属硅电阻芯体3、金属硅应变片5、4个主要部分。金属硅应变片5粘接接于具有应力释放槽7的金属硅电阻芯体3上,金属硅电阻芯体3焊接通过焊缝8使用激光焊焊接于芯体支座2上,绑定板1通过注胶槽6粘接至芯体支架2上,金属硅应变片5与绑定板1使用导线(铝线)4绑定连接。此种结构减少了装配应力,并且在绑定板1承压时对金属硅电阻芯体3造成影响可减少至忽略不计。【权利要求】1.一种低成本金属硅电阻压力传感器,其特征是包括金属硅电阻芯体(3)和与之配合安装的芯体支座(2),金属硅电阻芯体(3)与位于芯体支座(2)上的绑定板(I)通过导线(4)连接;金属硅电阻芯体(3)与芯体支座(2)之间通过焊缝(8)位置焊接固定,并且金属硅应变式芯体中部制有应力释放槽(7);金属硅应变片(5)位于芯体支座(2)与绑定板(I)之间。2.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征是金属硅电阻芯体(3)与芯体支座(2)激光焊接。3.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征是绑定板(I)通过芯体支座(2)上的注胶槽(6)贴合粘接于芯体支座(2)上,并与金属硅应变式芯体(3)存在间隙(9)。【文档编号】G01L1/20GK104316228SQ201410549357【公开日】2015年1月28日 申请日期:2014年10月16日 优先权日:2014年10月16日 【专利技术者】不公告专利技术人 申请人:宝鸡睿科传感器有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种低成本金属硅电阻压力传感器,其特征是包括金属硅电阻芯体(3)和与之配合安装的芯体支座(2),金属硅电阻芯体(3)与位于芯体支座(2)上的绑定板(1)通过导线(4)连接;金属硅电阻芯体(3)与芯体支座(2)之间通过焊缝(8)位置焊接固定,并且金属硅应变式芯体中部制有应力释放槽(7);金属硅应变片(5)位于芯体支座(2)与绑定板(1)之间。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:不公告发明人
申请(专利权)人:宝鸡睿科传感器有限公司
类型:发明
国别省市:陕西;61

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