外延炉尾气净化器制造技术

本发明专利技术涉及一种废气处理装置，特别是涉及一种对Ｅｐｉ、Ｐｌｏｙ或ＰＥＣＶＤ化学气相沉积工艺尾气进行净化处理的外延炉尾气净化器，它具有初次洗涤室、二次洗涤室和填料室，初次洗涤室内装有大流量喷嘴喷淋装置，二次洗涤室内装有多个细雾高速喷嘴喷淋装置，壳体顶端装有进气口，进气口通过进气管道通入初次洗涤室下部，填料室顶端装有排泄锥喷嘴喷淋装置和排气口，排泄锥喷嘴喷淋装置下方装有圆锥形管口。本发明专利技术结构紧凑、制作成本低、设备能耗低、运行成本低，废气净化效率高，废气处理效果好，设备检修方便，维护停机时间短，设备正常运行时间长，工艺稳定性好，安全可靠。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种废气处理装置，特别是涉及一种对Epi、 Ploy或PECVD化 学气相沉积工艺尾气进行净化处理的外延炉尾气净化器。技术背景在Epi 、Ploy或PECVD化学气相沉积工艺尾气中含有多种有毒废气，如SiHC3、 HC1 、 PH3等，这些有毒气体必须经过严格的处理达到排放标准后才能排入大气中。 这些废气中有的能与水反应，生成Si02O和HCl气体等，而HC1等气体和废气中 的其他成份可以被水有效吸收，因此，目前，美国、俄罗斯、日本等国大多采 用水吸收型废气处理系统，采用水柱淋洗废气和多孔填料吸收，大多吸收处理 效果不理想，且为了抽出废气都会安装离心风机等抽风设备，这样，尾气净化 装置的体积相对较大，相应地设备的制作成本和运行成本也较高，能源消耗出 较大，设备价格昂贵。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是解决现有的尾气净化装置体积大、制作成本和 运行成本高、设备能耗大、进气口易堵塞等技术问题，本专利技术提供一种外延炉 尾气净化器，它不仅结构紧凑、制作成本低、设备能耗低、运行成本低，废气 净化效率高、效果好，设备检修方便。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是 一种外延炉尾气净化器，具 有壳体，壳体下方设置有密闭的水箱，壳体内设置有横隔板和纵隔板，将壳体 内腔分隔成初次洗涤室、二次洗涤室和填料室，二次洗涤室设在初次洗涤室上 方，横隔板中心开有通气口，横隔板与壳体间工作时形成水封，初次洗涤室底部和填料室底部与水箱间工作时形成水封，壳体顶端装有进气口，进气口通过 进气管道与初次洗涤室下部相通，二次洗涤室与填料室通过通气管道连通，初 次洗涤室内装有大流量喷嘴喷淋装置，二次洗涤室内装有多个细雾高速喷嘴喷 淋装置，填料室内充填有填料，填料室顶端装有排泄锥喷嘴喷淋装置和排气口， 排气口与排气管道相通，排气管道深入填料室下部，排泄锥喷嘴喷淋装置的下 方装有圆锥形管口，水箱的顶端装有向水箱补水的补水口、底部装有排污口和 排净口，初次洗涤室下部装有通向壳体外的溢流管道，溢流管道的溢流口高于 初次洗涤室的底面，壳体外装有循环泵，循环泵的进水口通入水箱液面下、循 环泵的出水口通过水管与大流量喷嘴喷淋装置、细雾高速喷嘴喷淋装置及排泄 锥喷嘴喷淋装置相连。外延炉尾气从进气口通过通气管通入初次洗涤室，在初次洗涤室中大流量 喷嘴喷淋装置对初次洗涤室进行涂布，清除尾气中的粗粒杂质和吸收部分废气， 经过初次洗涤后的废气通过通气口进入二次洗涤室，二次洗涤室内的细雾高速 喷嘴喷淋装置对二次洗涤室进行喷雾，确保有效清除废气中的杂质和酸性废气 的中和吸收，最后废气进行填料室进行最后的精细处理，进一步提高净化效率， 排泄锥喷嘴喷淋装置对填料室进行喷淋，提高清洗废气的效率，同时，根据文 丘里原理，在排气口处形成负压，有利于废气排出。在循环泵出水口与排泄锥喷嘴喷淋装置间相连通的水管上装有调压阀，用 于调节排泄锥喷嘴喷淋装置喷出的中和循环液的压力和流速，以调节排气口处 的负压值，控制废气排出速度。所述的进气管道顶端装有清渣机构，进气口装在进气管道上部，进气口与 进气管道内腔相连通，操作清渣机构，及时清除进气口粘结的Si02粉尘，可有 效防止Si02粉尘将进气口堵塞。所述的进气管道由上进气管和下进气管组成，清渣机构具有清渣棒、进水 槽和上盖，清渣棒下端有与清渣棒一体结构或固定连接的清渣活塞，清渣活塞 圆周设置有外螺纹，上进气管上部内壁设置有内螺纹段，清渣活塞与上进气管 螺纹连接，上进气管上装有进气口，上盖盖在进水槽上端、并与进水槽密封固 定，上盖中心开有上进气管连接孔，上进气管穿过上盖中心的上进气管连接孔， 插入进水槽的下部，上进气管与上盖密封固定，进水槽底部中心开有下进气管 连接孔，下进气管上端插入进水槽底部的下进气管连接孔中，下进气管与进水 槽密封固定，进水槽上部开有斜进水口，斜进水口通过连接水管与水管连接。 根据生产工艺确定清渣机构工作的时间间隔，当需要清除进气口的粉尘时，先 旋拧清渣棒，使清渣活塞与上进气管分离后，将清渣活塞上下移动，以清除进 气口处粘结的粉尘，清除完毕，将清渣棒回旋至清渣活塞与上进气管连接位置， 以免设备漏气。为便于安装，所述的上进气管分为上进气管上段和上进气管下段，进气口 装在上进气管上段上，上进气管上段下部外壁有凸环，上进气管下段上端有螺 纹，上进气管上段和上进气管下段通过连接螺母连接。上进气管上段相对于上 进气管下段在360。范围内旋转，可根据需要将进气口转至适当的位置。为便于对初次洗涤室和二次洗涤室内的大流量喷嘴喷淋装置和细雾高速喷 嘴喷淋装置进行检修，在初次洗涤室和二次洗涤室的壳体上开有检修口 。所述的补水口还通过补水管道与初次洗涤室相通，补水管道上装有补水闸 阀。通过补水管道对初次洗涤室进行补水，这样一来可以使初次洗涤室清除的 部分粗粒杂质随着泡沫从溢流口排出，二来防止中和循环液饱和。所述的壳体外还装有清洗设备外壳的冲洗喷嘴，冲洗喷嘴通过冲洗管道与 循环泵的出水口相连，冲洗管道上装有冲洗闸阀，根据需要打开冲洗闸阀对设备外壳进行冲洗。本专利技术的有益效果是，本专利技术的外延炉尾气净化器结构紧凑、制作成本低、 设备能耗低、运行成本低，，废气净化效率高，废气处理效果好，Si02粉尘去除率达100%，水溶性气体的清除率》99.9%，处理后HC1废气在外延炉尾气净化器 排放口在lppm以下，设备检修方便，维护停机时间短，设备正常运行时间长， 工艺稳定性好，安全可靠。 附图说明下面结合附图和实施例对本专利技术进一步说明。图1是本专利技术的外延炉尾气净化器的结构示意图。图2是本专利技术中的清渣机构的结构示意图。图中l壳体，2.水箱，3.横隔板，4.纵隔板，5.初次洗涤室，6.二次洗涤 室，7.填料室，8.进气口， 9.进气管道，9-l.上进气管，9-1-1.上进气管上段， 9-1-1-1.凸环，9-1-2.上进气管下段，9-2.下进气管，9-3.连接螺母，10.通气 管道，ll.大流量喷嘴喷淋装置，12.细雾高速喷嘴喷淋装置，13.填料，14.排 泄锥喷嘴喷淋装置，15.排气口， 16.圆锥形管口， 17.补水口， 18.排污口， 19. 排净口， 20.溢流管道，21.循环泵，22.水管，23.调速阀，24.检修口， 25.加 药管，'26.单向阀，27.补水管道，28.补水闸阀，29.冲洗喷嘴，30.冲洗 管道，31.冲洗闸阀，32.清渣机构，32-1.清渣棒，32-2.进水槽，32-2-1.下 进气管连接孔，32-2-2.斜进水口， 32-3.上盖，32-3-1.上进气管连接孔，32-4. 清渣活塞，33.连接水管。具体实施方式如图1和图2所示的本专利技术的外延炉尾气净化器，具有壳体1，壳体1下方 设置有密闭的水箱2，壳体l内设置有横隔板3和纵隔板4，将壳体内腔分隔成室6和填料室7， 二次洗涤室6设在初次洗涤室5上方， 在初次洗涤室5和二次洗涤室6的壳体1上开有检修口 24，横隔板3中心开有 通气口，横隔板3与壳体1间工作时形成水封，初次洗涤室5底部和填料室7 底部与水箱2间工作时形成水封，壳体1顶端装有进气口 8，进气口 8处装有清 渣机构32，清渣机构32清除粘在进气口 8处的粉尘，防止进气口 8堵塞，进气 口 8通本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种外延炉尾气净化器，其特征是：具有壳体（１），壳体（１）下方设置有密闭的水箱（２），壳体（１）内设置有横隔板（３）和纵隔板（４），将壳体内腔分隔成初次洗涤室（５）、二次洗涤室（６）和填料室（７），二次洗涤室（６）设在初次洗涤室（５）上方，横隔板（３）中心开有通气口，横隔板（３）与壳体（１）间工作时形成水封，初次洗涤室（５）底部和填料室（７）底部与水箱（２）间工作时形成水封，壳体（１）顶端装有进气口（８），进气口（８）通过进气管道（９）与初次洗涤室（５）下部相通，二次洗涤室（６）与填料室（７）通过通气管道（１０）连通，通气管道（１０）的进口在二次洗涤室（６）的上部、出口在填料室（７）的下部，初次洗涤室（５）内装有大流量喷嘴喷淋装置（１１），二次洗涤室（６）内装有多个细雾高速喷嘴喷淋装置（１２），填料室（７）内充填有填料（１３），填料室（７）的顶端装有排泄锥喷嘴喷淋装置（１４）和排气口（１５），排泄锥喷嘴喷淋装置（１４）下方装有圆锥形管口（１６），水箱（２）顶端装有向水箱（２）补水的补水口（１７）、水箱（２）的底部装有排污口（１８）和排净口（１９），初次洗涤室（５）下部装有通向壳体（１）外的溢流管道（２０），溢流管道（２０）的溢流口高于初次洗涤室（５）的底面，壳体（１）外装有循环泵（２１），循环泵（２１）的进水口通入水箱（２）液面下、出水口通过水管（２２）与大流量喷嘴喷淋装置（１１）、细雾高速喷嘴喷淋装置（１２）及排泄锥喷嘴喷淋装置（１４）相连。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张文光，
申请(专利权)人：张文光，
类型：发明
国别省市：32[中国|江苏]