真空高温快速加热装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术为真空高温快速加热装置，涉及电子加工设备领域，为提高加热效率，采用“8”型红外辐射加热管，均采用陶瓷制作的接线端子与玻璃管发热段一起处于真空加热室内，当温度＞200℃，玻璃陶瓷连接处就会开裂。真空密封处易损坏，为此本实用新型专利技术将接线端子通过真空管安装极置于真空加热室外、玻璃管加热段仍处于加热室内，加热管与真空安装极之间硅胶密封的位置跟着也处于真空安装极外侧，本实用新型专利技术能在200℃以上温度正常工作，并具有结构简单，制作容易的有益效果。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及电子器件加工设备领域，尤其是加热器设备。
技术介绍
对基片进行真空镀膜的设备中加热器是一个重要的设备，通常用石英管加热，为了提高加热效率，快速加热，采用“8”型红外辐射加热管，其接线端子用陶瓷制作，固接线端子与玻璃管发热一起处于其空加热室内，玻璃与陶瓷的膨胀系数不同，当温度> 200°C，玻璃与陶瓷连接处就会开裂，这远低于需要的工作温度。另外因为“8”型加热管结构比较复杂，在大气中不易实现真空密封。因此在上述现有技术的基础上进行了改进。
技术实现思路
本技术的目的为提供一种避免在200°C以上温度陶瓷与玻璃连接处开裂并能满足此温度下真空密封的真空高温快速加热装置。实现上述目的的技术方案如下真空高温快速加热装置，具有真空加热室，在真空加热室内装有“8”型红外辐射加热管，其接线端子通过真空管安装板置于真空加热室外，玻璃管加热段外处于真空加热室内，“8”型红外辐射加热管与真空管安装板之间硅胶密封的位置也跟着处于真空管安装板外倒。“8”型红外辐射加热管的尾部装于处于真空加热室内的加热管托条上，加热管托条与真空管安装板之间具有螺杆固定件。真空管安装板与真空加热室之间通过0型密封圈密本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．真空高温快速加热装置，具有真空加热室，在真空加热室内装有“８”型红外辐射加热管，其特征为“８”型红外辐射加热管接线端子通过真空管安装板置于真空加热室外，玻璃管加热段处于真空加热室内，“８”型红外辐射加热管与真空管安装板之间的硅胶密封的位置跟着也处于真空安装板外侧。

【技术特征摘要】
1.真空高温快速加热装置，具有真空加热室，在真空加热室内装有“8”型红外辐射加热管，其特征为“8”型红外辐射加热管接线端子通过真空管安装板置于真空加热室外，玻璃管加热段处于真空加热室内，“8”型红外辐射加热管与真空管安装板之间的硅胶密封的位置跟着也处于真空安...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘晓萌，
申请(专利权)人：张家港意发功率半导体有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32