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本实用新型为真空高温快速加热装置,涉及电子加工设备领域,为提高加热效率,采用“8”型红外辐射加热管,均采用陶瓷制作的接线端子与玻璃管发热段一起处于真空加热室内,当温度>200℃,玻璃陶瓷连接处就会开裂。真空密封处易损坏,为此本实用新型将接线...该专利属于张家港意发功率半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过张家港意发功率半导体有限公司授权不得商用。
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本实用新型为真空高温快速加热装置,涉及电子加工设备领域,为提高加热效率,采用“8”型红外辐射加热管,均采用陶瓷制作的接线端子与玻璃管发热段一起处于真空加热室内,当温度>200℃,玻璃陶瓷连接处就会开裂。真空密封处易损坏,为此本实用新型将接线...