【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体器件检测领域，尤其涉及一种基于探针的半导体器件检测装置。
技术介绍
1、在半导体器件的生产过程中，为了确保半导体器件的性能，需要进行对应的检测。半导体器件的体积小，检测过程中可以通过探针与半导体器件对应端口进行接触和检测。
2、为了提升自动化水平，可以通过设备进行半导体器件的定位以及探针的驱动，实现自动检测，但是探针和半导体器件的位置固定，每次装夹只能进行单个半导体器件的检测，效率低，而且如果半导体器件上含有多个检测点位的话，还需要更换设备，成本高，需要进行改进。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种基于探针的半导体器件检测装置，可以进行多个半导体器件的检测或者单个半导体器件检测上多个检测点的检测，提升检测效率。
2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：
3、一种基于探针的半导体器件检测装置，包括：底座、转盘、半导体器件载具、探针、固定板和升降板，所述转盘可旋转地水平设置在底座上方，所述半导体器件载具间隔设置在转盘上，所述底座上设置...
【技术保护点】
1.一种基于探针的半导体器件检测装置，其特征在于，包括：底座、转盘、半导体器件载具、探针、固定板和升降板，所述转盘可旋转地水平设置在底座上方，所述半导体器件载具间隔设置在转盘上，所述底座上设置有位于转盘两侧的立柱，所述固定板设置在立柱的顶部，所述升降板可升降地设置在固定板的下方，所述升降板底部水平设置有电动丝杆滑台，所述电动丝杆滑台底部设置有滑座，所述滑座底部设置有与探针对应的安装套，所述探针设置在安装套中并指向下方。
2.根据权利要求1所述的基于探针的半导体器件检测装置，其特征在于，所述底座上设置有驱动转盘旋转的电机。
3.根据权利要求1所述...
【技术特征摘要】
1.一种基于探针的半导体器件检测装置，其特征在于，包括：底座、转盘、半导体器件载具、探针、固定板和升降板，所述转盘可旋转地水平设置在底座上方，所述半导体器件载具间隔设置在转盘上，所述底座上设置有位于转盘两侧的立柱，所述固定板设置在立柱的顶部，所述升降板可升降地设置在固定板的下方，所述升降板底部水平设置有电动丝杆滑台，所述电动丝杆滑台底部设置有滑座，所述滑座底部设置有与探针对应的安装套，所述探针设置在安装套中并指向下方。
2.根据权利要求1所述的基于探针的半导体器件检测装置，其特征在于，所述底座上设置有驱动转盘旋转的电机。
3.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员：周炳，
申请(专利权)人：张家港意发功率半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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