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本技术公开了一种基于探针的半导体器件检测装置，其包括：底座、转盘、半导体器件载具、探针、固定板和升降板，所述转盘可旋转地水平设置在底座上方，所述半导体器件载具间隔设置在转盘上，所述底座上设置有位于转盘两侧的立柱，所述固定板设置在立柱的顶部，...
该专利属于张家港意发功率半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过张家港意发功率半导体有限公司授权不得商用。

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