一种潘宁放电离子源柔性材料真空镀膜电极制造技术

一种潘宁放电离子源柔性材料真空镀膜电极，电极的中间穿过一固定轴，在固定轴外套有外辊筒，将电极作为镀辊使用，所述外辊筒的两端分别固定设置轴承和轴承座，外辊筒通过轴承的带动围绕在固定轴外旋转，在所述固定轴上，和外辊筒构成的空间内设置永久磁体，用于建立所需的电场，产生等离子体。相邻两电极且作为镀辊之间，通电后，就可以产生一对持久的霍尔电流环（Ｈａｌｌ?ｃｕｒｒｅｎｔ）形成实质上的阴极，完成相对已知镀膜方法。具有的有益效果是不仅提高了生产效率，而且一对阴极和磁场的存在，中子和离子温度接近室温，使得热能损失减到最少，在使用时电极作为镀辊具有更高的沉积率、较大的镀膜面积、较高附着率，可以连续过程。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种潘宁放电离子源柔性材料真空镀膜电极，用在半导体、太阳 能薄膜、装饰材料和包装行业常用的柔性材料等原料薄膜或基片表面上，通过PECAD (等离 子体增强化学气相沉积)方法，使用新型高密度潘宁放电离子源(PDP)，形成纳米硅基氧化 物或其它材料镀层沉积固态薄膜的真空镀膜用电极。
技术介绍
此前，有公知的真空物理及化学气相沉积镀膜(PVD及CVD)装置内，都设计有各种 电极。前者有诸如真空蒸镀、磁控管溅射及离子束镀、分子束外延生长镀膜装置。后者有 诸如等离子体增强化学气相沉积(PECAD)、金属有机物化学气相沉积(MOCVD)、光化学气 相沉积(LCVD)、低压化学气相沉积(LPCVD)及热激发化学气相沉积(TCVD)等镀膜装置。它 们可以在真空状态下，在作为由纸、塑料等形成的各种原料薄膜或基片上，形成可能匹配的 金属、非金属(如铝层、氧化铝层、氧化硅、氮化物等)的镀层，以便赋予原料薄膜气体隔离 性能和湿气隔离性能，或制备各种用途的薄膜材料。现代的薄膜材料和薄膜技术已经成为 新材料研制必备的、不可或缺的重要手段之一，并已渗透到现代科技、国防和国民经济的各 个重要领域，如航空本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：祝宁，
申请(专利权)人：合肥科烨电物理设备制造有限公司，
类型：实用新型
国别省市：34