一种潘宁放电离子源柔性材料真空镀膜电极制造技术

一种潘宁放电离子源柔性材料真空镀膜电极，电极的中间穿过一固定轴，在固定轴外套有外辊筒，将电极作为镀辊使用，所述外辊筒的两端分别固定设置轴承和轴承座，外辊筒通过轴承的带动围绕在固定轴外旋转，在所述固定轴上，和外辊筒构成的空间内设置永久磁体，用于建立所需的电场，产生等离子体。相邻两电极且作为镀辊之间，通电后，就可以产生一对持久的霍尔电流环（Ｈａｌｌ?ｃｕｒｒｅｎｔ）形成实质上的阴极，完成相对已知镀膜方法。具有的有益效果是不仅提高了生产效率，而且一对阴极和磁场的存在，中子和离子温度接近室温，使得热能损失减到最少，在使用时电极作为镀辊具有更高的沉积率、较大的镀膜面积、较高附着率，可以连续过程。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种潘宁放电离子源柔性材料真空镀膜电极，用在半导体、太阳 能薄膜、装饰材料和包装行业常用的柔性材料等原料薄膜或基片表面上，通过PECAD (等离 子体增强化学气相沉积)方法，使用新型高密度潘宁放电离子源(PDP)，形成纳米硅基氧化 物或其它材料镀层沉积固态薄膜的真空镀膜用电极。
技术介绍
此前，有公知的真空物理及化学气相沉积镀膜(PVD及CVD)装置内，都设计有各种 电极。前者有诸如真空蒸镀、磁控管溅射及离子束镀、分子束外延生长镀膜装置。后者有 诸如等离子体增强化学气相沉积(PECAD)、金属有机物化学气相沉积(MOCVD)、光化学气 相沉积(LCVD)、低压化学气相沉积(LPCVD)及热激发化学气相沉积(TCVD)等镀膜装置。它 们可以在真空状态下，在作为由纸、塑料等形成的各种原料薄膜或基片上，形成可能匹配的 金属、非金属(如铝层、氧化铝层、氧化硅、氮化物等)的镀层，以便赋予原料薄膜气体隔离 性能和湿气隔离性能，或制备各种用途的薄膜材料。现代的薄膜材料和薄膜技术已经成为 新材料研制必备的、不可或缺的重要手段之一，并已渗透到现代科技、国防和国民经济的各 个重要领域，如航空航天、医药、能源、交通、通信和信息。而潘宁放电磁约束离子源是一种磁约束等离子体的技术，当电源通电时，产生内 部电场，在磁场的相互作用下，会产生一对持久的霍尔电流环(Hallcurrent)形成实质上 的阴极。受霍尔电流环的限制，在两环之间的豁口处，产生一个高密度等离子体，被霍尔电 流限制的电子化合物和中心的离子流，在形成实质上的阴极与两电极辊卷绕的基片之间产 生离子轰击和化学反应。由于潘宁放电离子源具有操作压力低(lOmTorr)，等离子体阻抗 值低、且为常数等特点，结果产生了较高的电子温度和较低的中子和离子温度，较高的电子 温度，可以从根本上提高了生产效率，同时，一对阴极和磁场的存在，中子和离子温度接近 室温，使得热能损失减到最少。从而得到镀层均勻性优良、相对已知镀膜方法更为高的沉积 率、大面积、平滑、较高附着率，且具有较低温度过程的镀膜。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于提供一种具有潘宁放电离子源，通过PECAD 方法，在原料薄膜PET的内外表面上形成纳米硅基氧化物镀层的真空镀膜电极。本技术所要解决的技术问题采用以下技术方案来实现，一种潘宁放电离子源柔性材料真空镀膜电极，电极的中间穿过一固定轴，在固定 轴外套有外辊筒，将电极作为镀辊使用，其特征在于所述外辊筒的两端分别固定设置轴承 和轴承座，外辊筒通过轴承的带动围绕在固定轴外旋转，在所述固定轴上，和外辊筒构成的 空间内设置永久磁体，用于建立所需的电场，产生等离子体。所述固定轴与外辊筒构成的空间内还设置一冷却通道，用来移出热量。在所述外辊筒和固定轴的连接处，一端通过静密封封闭，一端采用动密封封闭，在两密封件之间确保电极内的真空度。所述动密封口处还设置有绝缘元件建立电场及其位置度。所述永久磁体在固定轴上设置后，永久磁体的端部设置挡块，用于永久磁体的装 配与定位。本技术在使用时，在相邻两电极且作为镀辊之间，通电后，就可以产生一对持 久的霍尔电流环(Hall current)形成实质上的阴极，完成相对已知镀膜方法。本技术具有的有益效果是不仅提高了生产效率，而且一对阴极和磁场的存 在，中子和离子温度接近室温，使得热能损失减到最少，在使用时电极作为镀辊具有更高的 沉积率、较大的镀膜面积、较高附着率，可以连续过程。附图说明图1是本技术结构示意图；图2是图1的侧面示意图。具体实施方式为了使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下 面结合具体图示，进一步阐述本技术。如图1和图2所示，一种潘宁放电离子源柔性材料真空镀膜电极1，电极1的中间 穿过一固定轴11，在固定轴11外套有外辊筒12，将电极1作为镀辊使用，在外辊筒12的两 端分别固定安装轴承13和轴承座14，其中在外辊筒12和固定轴11的连接处，一端通过静 密封15封闭，一端采用动密封16封闭，从而在两密封件之间确保电极1内的真空度。动密 封16 口外安装绝缘元件建立电场及其位置度。外辊筒12在套在固定轴1外后，两端通过轴承13的带动可以围绕在固定轴11外 旋转，此时在固定轴11上，和外辊筒12构成的空间内放置永久磁体17，永久磁体17在固定 轴11上放置后，其端部安装挡块18用于永久磁体17在固定轴11和外辊筒12之间的装配 与定位，在连接高频电源的接线端子后，建立所需的电场，产生等离子体。其中，固定轴11与外辊筒12构成的空间内还设置一冷却通道，用来移出外辊筒12 旋转后产生的热量。以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点。本行 业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述 的只是说明本技术的原理，在不脱离本技术精神和范围的前提下，本技术还 会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内。本技术 要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。权利要求一种潘宁放电离子源柔性材料真空镀膜电极，电极的中间穿过一固定轴，在固定轴外套有外辊筒，将电极作为镀辊使用，其特征在于所述外辊筒的两端分别固定设置轴承和轴承座，外辊筒通过轴承的带动围绕在固定轴外旋转，在所述固定轴上，和外辊筒构成的空间内设置永久磁体，用于建立所需的电场，产生等离子体。2.根据权利要求1所述潘宁放电离子源柔性材料真空镀膜电极，其特征在于所述固 定轴与外辊筒构成的空间内还设置一冷却通道。3.根据权利要求1所述潘宁放电离子源柔性材料真空镀膜电极，其特征在于所述外 辊筒和固定轴的连接处，一端通过静密封封闭，一端采用动密封封闭，在两密封件之间确保 电极内的真空度，在所述动密封口处还设置有绝缘元件。4.根据权利要求1所述潘宁放电离子源柔性材料真空镀膜电极，其特征在于所述永 久磁体在固定轴上设置后，永久磁体的端部设置挡块。专利摘要一种潘宁放电离子源柔性材料真空镀膜电极，电极的中间穿过一固定轴，在固定轴外套有外辊筒，将电极作为镀辊使用，所述外辊筒的两端分别固定设置轴承和轴承座，外辊筒通过轴承的带动围绕在固定轴外旋转，在所述固定轴上，和外辊筒构成的空间内设置永久磁体，用于建立所需的电场，产生等离子体。相邻两电极且作为镀辊之间，通电后，就可以产生一对持久的霍尔电流环(Hall current)形成实质上的阴极，完成相对已知镀膜方法。具有的有益效果是不仅提高了生产效率，而且一对阴极和磁场的存在，中子和离子温度接近室温，使得热能损失减到最少，在使用时电极作为镀辊具有更高的沉积率、较大的镀膜面积、较高附着率，可以连续过程。文档编号C23C14/00GK201746583SQ201020238918公开日2011年2月16日 申请日期2010年6月25日 优先权日2010年6月25日专利技术者祝宁 申请人:合肥科烨电物理设备制造有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：祝宁，
申请(专利权)人：合肥科烨电物理设备制造有限公司，
类型：实用新型
国别省市：34