用于气相淀积系统的冷却系统和方法技术方案

本发明专利技术涉及用于气相淀积系统的冷却系统和方法。一种用于将薄膜层气相淀积到光电(PV)模块衬底(14)上的系统(10)包括用于冷却真空室(12)的系统(100)，在气相淀积过程中，衬底被传送通过真空室(12)。该冷却系统关于真空室而构造，以便使冷却气体在闭合冷却回路中再循环通过真空室且通过外部热交换器(108)。还提供了一种用于强制冷却真空室的相关联的方法。

【技术实现步骤摘要】

本文公开的主题大体涉及用来将诸如半导体层的薄膜层淀积在衬底上的气相淀 积系统的领域。更具体而言，本主题涉及用于快速冷却气相淀积系统以进行维护或其它程 序的系统和方法。
技术介绍
作为在工业和住宅应用中的辅助性或主要的电功率源，太阳能系统正在获得广 泛的接受。在太阳能系统中使用的薄膜光电(PV)模块的效率正在达到这样一种水平其 中，在每瓦特所产生功率的成本方面，大规模的生产在经济上变得可行。对于基于碲化镉 (CdTe)的PV模块而言尤其是这样。CdTe是具有尤其适于将太阳能转换成电的特性的半导 体材料。例如，CdTe具有1. 45eV的能带隙，这使其与在历史上用于太阳能电池应用中的更 低带隙(IJeV)的半导体材料相比能够从太阳光谱中转换更多的能量。而且，与更低带隙 材料相比，CdTe会在更低的或漫射光条件下转换能量，并且因此与其它传统材料相比，在白 天的时间里或在低光(例如多云)条件下具有更长的有效转换时间。但是，尽管CdTe有优点，太阳能的可持续的商业开发和接受取决于以成本有效的 方式、以大规模生产的方式来生产高效的PV模块的能力。在这点上，以最小的中断在气相 淀积系统中加工相对本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种用于将薄膜层气相淀积在光电（ＰＶ）模块衬底（１４）上的系统（１０），包括：真空室（１２），在气相淀积过程中，衬底被传送通过该真空室（１２），其中，源材料被升华和淀积到所述衬底（１４）的表面上；以及对所述真空室构造的、用于使冷却气体再循环通过所述真空室的冷却系统（１００），所述冷却系统包括外部热交换器（１０８），所述冷却气体在闭合冷却回路中再循环通过所述外部热交换器（１０８）。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：J·S·保罗曼，R·W·布莱克，M·J·帕沃尔，
申请(专利权)人：初星太阳能公司，
类型：发明
国别省市：US