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本发明涉及用于气相淀积系统的冷却系统和方法。一种用于将薄膜层气相淀积到光电(PV)模块衬底(14)上的系统(10)包括用于冷却真空室(12)的系统(100)，在气相淀积过程中，衬底被传送通过真空室(12)。该冷却系统关于真空室而构造，以便使...
该专利属于初星太阳能公司所有，仅供学习研究参考，未经过初星太阳能公司授权不得商用。

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