层叠基板的构图装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供层叠基板的构图装置。其课题在于，能够高速且高精度地对太阳能电气基板等层叠基板进行构图加工而不会导致成本上升。作为解决手段，该构图装置具有：隔开规定间隔配置的一对支承部(1)、导杆(2)、加工头(3)、辊作业台(4)以及搬送机构(5)。导杆(2)配置于一对支承部(1)之间，并且，该导杆的两端分别支承于一对支承部(1)，层叠基板能够通过其下方。加工头(3)安装于导杆(2)上，用于对薄膜层进行构图。辊作业台(4)在一对支承部(1)之间与加工头(3)相对配置，并且，旋转自如地支承于一对支承部(1)，在该辊作业台的外周面载置层叠基板。搬送机构(5)搬送载置于辊作业台(4)上的层叠基板。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及构图装置，特别涉及用于在形成于层叠基板的薄膜层上形成槽的层叠基板的构图装置。
技术介绍
在太阳能电池等的层叠基板中，在玻璃基板上层叠有金属膜和/或半导体膜等薄膜。而且，为了进行绝缘处理，在这些薄膜上形成有多个分离槽。通过使用激光的激光头、 使用金刚石等刀尖的机械刀具来形成该分离槽。作为以上这种在薄膜上形成槽的所谓的构图加工用装置，以往公知有专利文献1 所示的装置。该专利文献1所示的构图装置具有载置有太阳能电池基板的载置台、以及将从激光振荡器出射的激光引导到太阳能电池基板的加工光学系统。载置台具有X作业台和 Y作业台，作为能够分别在X轴方向和Y轴方向上移动的移动机构，能够使载置台上的太阳能电池基板相对于加工光学系统相对移动。并且，作为其他构图装置，提供专利文献2所示的装置。该构图装置具有供给基板的供给辊、卷绕基板的卷绕辊、配置于供给辊与卷绕辊之间且用于支承基板背面的辊状作业台、以及向基板引导激光的光学系统。这里，一边从供给辊供给基板，一边向基板照射激光，从而形成沿着基板的移动方向的槽。专利文献1日本特开2007-48835号公报专利文献2日本专利第3210251号公报在所述这种构图加工时，为了缩短生产间隔时间，优选使载物台高速移动。并且， 为了高精度地形成槽，需要高精度地对加工头与基板之间的间隔进行管理，需要以较高的面精度对载置有太阳能电池基板等工件的载物台载置面进行精加工。这里，近年来，太阳能电池基板大型化，因此，用于载置基板的载物台也成为大尺寸。一般地，载物台多为石制，当载物台的尺寸增大时，其重量也变重。因此，使这种大重量的载物台高速移动是很困难的，并且，使整个大范围的载置面具备较高的面精度会导致成本上升。并且，在专利文献2所示的这种装置中，利用辊状作业台支承基板的背面，所以， 不需要使重量较重的载物台移动。但是，在该专利文献2所示的结构的装置中，完全没有示出如何高精度地配置激光头和辊状作业台。即，完全没有示出用于高精度地对两者之间的间隔进行管理的结构，在这种装置中，无法高精度地形成槽。
技术实现思路
本专利技术的课题在于，能够高速且高精度地对太阳能电气基板等工件进行构图加工而不会导致成本上升。第1方面的层叠基板的构图装置用于在形成于层叠基板的薄膜层上形成槽，该构图装置具有隔开规定间隔配置的一对支承部、导杆、加工头、辊作业台以及搬送机构。导杆3配置于一对支承部之间，并且，该导杆的两端分别被一对支承部支承，层叠基板能够通过导杆下方。加工头安装于导杆上，用于对薄膜层进行构图。辊作业台在一对支承部之间与加工头相对配置，并且旋转自如地支承于一对支承部，在该辊作业台的外周面载置层叠基板。 搬送机构搬送载置于辊作业台上的层叠基板。在该装置中，在导杆的下方，层叠基板载置于辊作业台的外周面而被搬送。此时， 在导杆上装配有加工头，通过该加工头，针对在辊作业台上搬送的层叠基板形成槽。这里，以使层叠基板与辊作业台的外周面线接触的方式支承层叠基板，所以，接触部的面积小。因此，能够容易地使接触部的面精度为高精度。并且，不会为了提高接触部的面精度而导致成本上升。而且，加工头和辊作业台均支承于一对支承部，所以，能够容易地高精度地设定两者之间、甚至加工头与层叠基板之间的相对位置。并且，还能够缩短槽形成用的时间。第2方面的层叠基板的构图装置在第1方面的装置中，导杆以升降自如的方式支承于一对支承部。这里，使导杆升降，能够容易地对装配于导杆的加工头与基板之间的相对位置进行调整。第3方面的层叠基板的构图装置在第1或第2方面的装置中，辊作业台以升降自如的方式支承于一对支承部。这里，使辊作业台升降，能够使装配于导杆的加工头与辊作业台之间充分隔开间隙，能够顺畅地将层叠基板搬入到辊作业台上。第4方面的层叠基板的构图装置在第3方面的装置中，辊作业台以两端分别独立地升降自如的方式支承于一对支承部。这里，能够使辊作业台的两端分别独立地升降，所以，能够调整在辊作业台上载置的层叠基板的倾斜。第5方面的层叠基板的构图装置在第1 第4方面的装置中，加工头在与基板搬送方向正交的方向上相对于导杆移动自如。这里，能够利用较少的加工头容易地形成多个槽。第6方面的层叠基板的构图装置在第1 第5方面的装置中，基板搬送机构具有一组夹紧机构，一组夹紧机构隔着辊作业台配置于基板搬送方向的上游侧和下游侧，把持层叠基板的搬送方向两端部。这里，分别通过夹紧机构把持层叠基板的两端部，从而在辊作业台上搬送层叠基板。第7方面的层叠基板的构图装置在第6方面的装置中，一组夹紧机构以使载置于辊作业台的部分高于搬送方向两端部的方式把持层叠基板。这里，通过夹紧机构把持层叠基板的两端部，以使载置于辊作业台的部分最高的方式使层叠基板挠曲。因此，层叠基板与辊作业台紧密贴合，能够高精度地加工槽。第8方面的层叠基板的构图装置在第1 第7方面的装置中，该构图装置还具有传感器，该传感器设于导杆，对该传感器与载置于辊作业台的层叠基板之间的距离进行测定。这里，通过传感器，能够对传感器与辊作业台上的层叠基板之间的距离进行测定，根据该测定结果，能够容易地调整包含层叠基板与加工头之间的间隔在内的相对位置。在以上这种本专利技术中，通过辊作业台支承层叠基板，并且，通过一对支承部支承辊作业台和加工头，所以，能够高速形成槽而不会导致成本上升，并且，能够高精度地在层叠基板上形成槽。附图说明图1是本专利技术的一个实施方式的构图装置的概念图。图2是所述构图装置的主视图。图3是所述装置的概略侧视图。图4是示出基板搬送机构的一部分的外观图。图5是示出在基板搬送机构中把持基板的结构的外观图。标号说明1 支承部；2 导杆；2a 引导槽；3 加工头；4 辊作业台；5 搬送机构；6 非接触位移传感器；10 导杆升降机构；12 辊升降机构；16 第1和第2夹紧机构；21 卡紧装置。具体实施例方式图1 图3示出本专利技术的一个实施方式的构图装置。图1是构图装置的概念图， 图2是其主视图，图3是其概略侧视图。该构图装置是用于在形成于作为层叠基板的太阳能电池基板的薄膜层上形成绝缘处理用的槽的装置。在图1中，太阳能电池基板(以下简记为基板)在箭头A方向上被搬送。另外，在图1和图2中省略了搬送机构(在图3中仅示出一部分)。该构图装置主要具有左右一对支承部1、导杆2、槽形成用的加工头3、辊作业台4、搬送机构5 (参照图3 5)、非接触位移传感器6。并且，该构图装置具有由微型计算机等构成的控制器7。一对支承部1隔开规定间隔配置，分别固定在基体框架8上。并且，各支承部1在外侧具有导杆支承部la，在其内侧具有辊作业台支承部lb。导杆2在一对支承部1之间延伸配置，两端位于各支承部1的导杆支承部Ia的上方。而且，通过在各支承部1的导杆支承部Ia的内部设置的导杆升降机构10，该导杆2自如升降。另外，导杆升降机构10分别具有伺服电动机以及用于通过伺服电动机的旋转而使导杆2升降的机构。在导杆2上，沿着其长度方向、即与基板的搬送方向A正交的方向B形成有引导槽加。引导槽加设置在与辊作业台4大致相同长度的范围内。槽形成用的加工头3能够沿着导杆2的引导槽加在与基板搬送方向A正交的方向B上移动。另外，作为加工头3，能够使用向基板照射激光的激光头、或具有金刚石等刀尖的加工头。辊作业本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种层叠基板的构图装置，该构图装置用于在形成于层叠基板的薄膜层上形成槽，其中，该构图装置具有：一对支承部，它们隔开规定间隔配置；导杆，其配置于所述一对支承部之间，并且，该导杆的两端分别被所述一对支承部支承，层叠基板能够通过该导杆的下方；加工头，其安装于所述导杆上，用于对薄膜层进行构图；辊作业台，其在所述一对支承部之间与所述加工头相对配置，并且旋转自如地支承于所述一对支承部，在该辊作业台的外周面载置层叠基板；以及搬送机构，其对载置于所述辊作业台上的层叠基板进行搬送。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：赤井敏男，广野嘉文，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP