晶圆浮动压板制造技术

本实用新型专利技术为一种晶圆浮动压板，供装设于一晶圆劈裂机上，用以压制一晶圆，其包括一第一固定板、一第二固定板、至少一个弹簧与一压板，其中该第一固定板与该第二固定板分别连结固定该晶圆劈裂机与该压板，并该第二固定板连结固定至少一个导柱，该至少一个导柱穿过该第一固定板而相对该第一固定板位移，而该至少一个弹簧穿套于该至少一个导柱并撑开该第一固定板与该第二固定板维持一间隙，据此，该晶圆劈裂机通过该弹簧施力，使该压板压制该晶圆，以利用弹簧操作而达到浮动的效果，因此可自动调整压制的高度，而适用不同厚度的晶圆，在晶圆厚度不一的情况下，仍可达到压制整平的作用，并具足够的刚性且稳定性较高，可满足使用上的需求。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶圆劈裂机，尤其涉及用于压制晶圆的晶圆浮动压板。
技术介绍
请参阅“图1”与“图2”所示，晶圆劈裂机用于将晶圆1劈裂为一粒粒的晶粒，以进行后续的封装作业，晶圆1在进行劈裂之前，会先用激光切割出横向与纵向且未断裂的激光切割线2，接着将晶圆1贴附一蓝膜3 (或白膜)，再于晶圆1上方覆盖一保护膜(图未示)加以保护后，通过一固定夹具4送入一晶圆劈裂机10进行劈裂作业。晶圆劈裂机10包括一工作台5、一劈刀6、二劈裂台7、一影像获取系统8与一击锤11，该工作台5夹置该固定夹具4，并可作平面方向的移动与转动，该劈刀6借由一连接片9固定于该晶圆劈裂机10上，且受该击锤11的敲击而产生冲击力，该劈刀6与该二劈裂台7分设于该晶圆1的上下两侧，并上下分别抵压该晶圆1，以通过该击锤11敲击该劈刀6 产生的冲击力来进行劈裂作业，该影像获取系统8则用于获取该晶圆1的影像。据而该晶圆1可通过该劈刀6的冲击力与该工作台5的定量位移，对多个激光切割线2连续进行劈裂，而该影像获取系统8则在连续劈裂过程中监控该晶圆1的定位是否偏移，以视偏移的程度重新进行定位，而当横向与纵向的激光切割线2皆被劈裂之后即完成劈裂作业。请再参阅“图3”所示，已知会使用压板12来压制晶圆1，其可在晶圆1的劈裂过程中减少晶圆1的翘曲，而取得较佳的劈裂质量与精度，然而已知的压板12为以固定型式机构带动去作压制整平，因此其机构操作时需作多次调整或由程序经由检知判断压板用以确定行程位置是否有达到压制晶圆1位置，另外晶圆1每次生产的厚度无法每次皆一致，故在固定型式机构的压板12无法马上自动调整其压制面的高度，而导致压制不足或过多而导致无效果或晶圆1的损坏。
技术实现思路
本技术的主要目的在于披露一种晶圆浮动压板，以根据不同晶圆厚度而自动调整压制高度。经由以上可知，为达上述目的，本技术为一种晶圆浮动压板，供装设于一晶圆劈裂机上，用以压制一晶圆，其包括一第一固定板、一第二固定板、至少一个弹簧与一压板， 其中该第一固定板连结固定该晶圆劈裂机，该第二固定板连结固定至少一个导柱，该至少一个导柱穿过该第一固定板而相对该第一固定板位移，而该至少一个弹簧的数量对应该至少一个导柱，并分别穿套于该至少一个导柱并撑开该第一固定板与该第二固定板维持一间隙，并该第二固定板连结固定该压板。根据本技术进一步改进的技术方案，该至少一个导柱穿过该第一固定板的位置分别固接一挡环。根据本技术进一步改进的技术方案，该第一固定板包括一第一外长条板与一第一内长条板，该第二固定板包括对应形状的一第二外长条板与一第二内长条板，该至少一个导柱为四个，并分设于所述第二外长条板与所述第二内长条板的两侧。根据本技术进一步改进的技术方案，该第一外长条板与该第一内长条板各设有至少一个定位孔，而该第二外长条板与该第二内长条板各设有对应穿套该至少一个定位孔的至少一个定位柱。根据本技术进一步改进的技术方案，该第一外长条板与该第一内长条板分别通过一外固定杆与一内固定杆固定于所述晶圆劈裂机上。根据本技术进一步改进的技术方案，该外固定杆穿套于一固定座上，该固定座固定于该晶圆劈裂机上，且该固定座连接固定有一操作汽缸，该操作汽缸驱使一固定支架位移，且该固定支架连接固定该外固定杆。根据本技术进一步改进的技术方案，该第一固定板设有多个第一锁接孔，该多个第一锁接孔供多个螺丝穿过锁固于该晶圆劈裂机上。根据本技术进一步改进的技术方案，该第二固定板设有多个第二锁接孔，该多个第二锁接孔供多个螺丝穿过锁固于该压板上。据此，本技术为利用弹簧操作而达到浮动的效果，可让该晶圆劈裂机通过该弹簧施力，使该压板浮动压制该晶圆，因此可自动调整压制的高度，而适用不同厚度的晶圆，在晶圆厚度不一的情况下，仍可达到压制整平的作用，并具足够的刚性且稳定性较高， 可满足使用上的需求。附图说明图1为已知晶圆劈裂装置的局部结构示意图；图2为已知待劈裂晶圆的结构示意图；图3为已知晶圆压板示意图；图4为本技术晶圆浮动压板结构图；图5为本技术晶圆浮动压板局部分解图；图6为本技术晶圆浮动压板安装结构图；图7为本技术晶圆浮动压板压制晶圆结构图；以及图8为本技术晶圆浮动压板单边位移结构图。具体实施方式为使审查员对本技术的特征、目的及功效，有着更加深入的了解与认同，现列举优选实施例并配合附图说明如下请参阅“图4”与“图5”所示，本技术为一种晶圆浮动压板，其包括一第一固定板20、一第二固定板30、至少一个弹簧40与一压板50，其中该第二固定板30连结固定至少一个导柱31，该至少一个导柱31穿过该第一固定板20而相对该第一固定板20位移， 该至少一个弹簧40的数量对应该至少一个导柱31，并分别穿套于该至少一个导柱31并撑开该第一固定板20与该第二固定板30维持一间隙d，而该第二固定板30连结固定该压板 50。又该至少一个导柱31穿过该第一固定板20的位置可以分别固接一挡环32，且该第一固定板20设有多个第一锁接孔21，该第二固定板30设有多个第二锁接孔33，且该多个第二锁接孔33供多个螺丝60穿过锁固于该压板50上。另该第一固定板20可以包括一第一外长条板201与一第一内长条板202，而该第二固定板30包括对应形状的一第二外长条板301与一第二内长条板302，该至少一个导柱 31为四个，并分设于该第二外长条板301与该第二内长条板302的两侧。且该第一外长条板201与该第一内长条板202可各设有至少一个定位孔203，而该第二外长条板301与该第二内长条板302各设有对应穿套该至少一个定位孔203的至少一个定位柱303。请再一并参阅“图6”与“图7”所示，本技术为供装设于一晶圆劈裂机70(晶圆劈裂机70仅绘制局部图)上，用以压制一晶圆80，其中该第一固定板20连结固定该晶圆劈裂机70，其让该多个第一锁接孔21供多个螺丝60穿过锁固于该晶圆劈裂机70上，且该第一外长条板201与该第一内长条板202可分借由一外固定杆91与一内固定杆92固定于该晶圆劈裂机70上，并该外固定杆91穿套于一固定座93上，该固定座93固定于该晶圆劈裂机70上。请再一并参阅“图8”所示，该固定座93可连接固定有一操作汽缸94，该操作汽缸 94驱使一固定支架95位移，且该固定支架95连接固定该外固定杆91，据此该外固定杆91 可单独位移，而方便检测维修。如上所述，本技术可利用弹簧40操作而浮动，其可根据不同的晶圆80厚度而自动调整，该晶圆劈裂机70通过该弹簧40施力，使该压板50浮动压制该晶圆80时，可自动调整压制的高度，而适用不同厚度的晶圆80，纵使晶圆80厚度不一，本技术仍可达到压制整平的作用，并具足够的刚性与高稳定性，满足使用上的需求。权利要求1.一种晶圆浮动压板，用于装设于一晶圆劈裂机(70)上，用以压制一晶圆(80)，其特征在于，包括一第一固定板00)；一第二固定板(30)，所述第二固定板(30)连结固定至少一个导柱(31)，所述至少一个导柱(31)穿过所述第一固定板00)而相对所述第一固定板00)位移；至少一个弹簧(40)，所述至少一个弹簧00)的数量对应所述至少一个导柱(31)，并分别穿套于所述至少一个导柱(31)并撑本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种晶圆浮动压板，用于装设于一晶圆劈裂机（７０）上，用以压制一晶圆（８０），其特征在于，包括：一第一固定板（２０）；一第二固定板（３０），所述第二固定板（３０）连结固定至少一个导柱（３１），所述至少一个导柱（３１）穿过所述第一固定板（２０）而相对所述第一固定板（２０）位移；至少一个弹簧（４０），所述至少一个弹簧（４０）的数量对应所述至少一个导柱（３１），并分别穿套于所述至少一个导柱（３１）并撑开所述第一固定板（２０）与所述第二固定板（３０）维持一间隙（ｄ）；以及一压板（５０），所述第二固定板（３０）连结固定所述压板（５０）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈孟端，
申请(专利权)人：正恩科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：71