一种镀膜装置，其包括过渡腔体、镀膜腔体、阀门、多个料杆、第一料架、第二料架以及料杆转移装置。所述料杆转移装置设置于过渡腔体内。所述阀门连接于所述过渡腔体和镀膜腔体之间，用于在开启时连通过渡腔体和镀膜腔体，并用于在关闭时隔离过渡腔体和镀膜腔体。所述第一料架和第二料架均用于设置所述多个料杆。所述料杆转移装置包括驱动机构、夹爪及挡板。所述夹爪用于将所述多个料杆自所述第一料架一一转移至第二料架，或者用于将所述多个料杆自所述第二料架一一转移至第一料架。所述挡板设置于所述驱动机构，并靠近所述夹爪，所述挡板用于将转移过程中从料杆上脱落的工件从所述阀门处移除。本技术方案还提供一种镀膜方法。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及镀膜领域，尤其涉及一种可保护镀膜靶材、提高镀膜效率的镀膜装置及使用该镀膜装置的镀膜方法。
技术介绍
镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工新技术，是表面工程
的重要组成部分。镀膜技术是利用物理、化学手段在固体表面涂覆一层特殊性能的薄膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁或绝缘等许多优越性能，从而达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。溅镀是镀膜技术中的一种，其利用辉光放电产生的离子去撞击靶材，将靶材内的原子撞出而沉积在基材上。由于溅镀具有极佳的沉积效率、大尺寸的沉积厚度控制、精确的成份控制及较低的制造成本等优点，因此在工业上的应用非常广泛。现在为提高电子产品表面的耐磨性、光泽度等性能，在其表面溅镀形成具有高金属质感与各种色彩艳丽饱满效果的多层膜已日渐普及。通常经由溅镀方式在电子产品外壳等元件上形成膜层包括以下步骤首先，将待镀的元件装载在工作腔内并对该工作腔进行抽真空；其次，对工作腔内的待镀元件进行预热；再次，通过溅镀在待镀元件表面形成膜层；最后，打开工作腔门，将形成有膜层的元件取出。当取出形成有膜层的元件时，工作腔内的真空环境被破坏，位于工作腔内的靶材可能接触到空气而被氧化。此外，在对下一批的元件进行镀膜时，还需要再一次地对工作腔抽真空，才可继续进行后续的预热及溅镀的工序。 如此，在多批次的生产过程中，不仅需要多次进行抽真空，导致生产效率低，还可能损坏镀膜靶材，不利于提高镀膜质量。
技术实现思路
因此，有必要提供一种，以保护镀膜靶材、提高镀膜效率。一种镀膜装置，其包括过渡腔体、镀膜腔体、阀门、多个料杆、第一料架、第二料架以及料杆转移装置。所述多个料杆用于设置多个工件。所述第一料架和料杆转移装置设置于过渡腔体内。所述第二料架设置于镀膜腔体内。所述阀门连接于所述过渡腔体和镀膜腔体之间，用于在开启时连通过渡腔体和镀膜腔体，并用于在关闭时隔离过渡腔体和镀膜腔体。所述第一料架和第二料架均用于设置多个料杆。所述料杆转移装置包括驱动机构、夹爪及挡板。所述夹爪用于在驱动机构驱动下，在过渡腔体和镀膜腔体连通时将所述多个料杆自所述第一料架一一转移至第二料架，或者用于将所述多个料杆自所述第二料架一一转移至第一料架。所述挡板设置于所述驱动机构并靠近所述夹爪，用于将转移过程中从料杆上脱落的工件从所述阀门处移除。一种使用如上所述的镀膜装置的镀膜方法，包括步骤提供多个待镀膜的工件和如权利要求1所述的镀膜装置，将所述多个工件固设于所述多根料杆；将固设有多个工件的多根料杆设置于所述第一料架，并对过渡腔体进行预热；开启阀门，通过料杆转移装置将过渡腔体内完成预热的多个料杆一一转移至镀膜腔体内的第二料架，从而使多个工件位于镀膜腔体；关闭阀门，对镀膜腔体内的多个工件进行镀膜；再次开启阀门，通过料杆转移装置将镀膜腔体内的多个料杆一一转移至过渡腔体内的第一料架。本技术方案提供的镀膜装置具有过渡腔体和镀膜腔体，并通过阀门连通于过渡腔体和镀膜腔体之间。其中，过渡腔体用于预热工件，镀膜腔体仅用于镀膜。使用本技术方案的镀膜装置进行镀膜时，具有以下优势首先，工件在过渡腔体内预热完成后可直接送入镀膜腔体内进行镀膜，省去了等待预热或等待抽真空的时间，提高镀膜效率。其次，在镀膜完成后，工件从镀膜腔体送入过渡腔体，关闭阀门，再从过渡腔体取出工件，可避免镀膜腔体接触外界环境，从而避免镀膜腔体内的镀膜靶材被损坏。再次，当有工件从料杆上脱落时， 由于挡板的存在，工件不会落入阀门处，使得阀门得以正常运作，而不必人工去除该工件， 避免破坏过渡腔体或镀膜腔体的真空环境，省去了再次抽真空的过程。附图说明图1是本技术方案实施例提供的镀膜装置的结构示意图。图2是本技术方案实施例提供的镀膜装置的料杆的立体结构示意图。图3是图1中III部分的放大图。图4是图1中IV部分的放大图。图5是将一个待镀膜的工件设置于料杆的示意图。图6是将料杆转移至镀膜腔体的分解示意图。图7是将料杆转移至镀膜腔体的示意图。主要元件符号说明镀膜装置过渡腔体第一开口镀膜腔体第二开口阀门密封壳体移动插板连通开口料杆承靠部杆体卡销承载盘第一料架第一顶板第一支撑杆第一底板1011111121211313013113214140141142143151501511525上表面153下表面154内侧面155外侧面156第一7承载槽157第一 放置座158第一 放置孔159第一导向槽1590第二.料架16第二.顶板160第二.支撑杆161第二.底板162第二.承载孔167料杆转移装置17驱动机构170夹爪171挡板172驱动器173输出轴174抽真空装置18导管180工件20具体实施例方式下面将结合附图及实施例，对本技术方案提供的镀膜装置作进一步的详细说明。请一并参阅图1至图4，本技术方案提供一种镀膜装置10，其包括过渡腔体11、镀膜腔体12、阀门13、多个料杆14、第一料架15、第二料架16及料杆转移装置17。所述过渡腔体11可为圆筒形，其包括依次相连接的顶壁、侧壁和底壁。所述侧壁上开设有第一开口 111。本实施例中，所述过渡腔体11为透明材质。所述镀膜腔体12与所述过渡腔体11相邻设置。所述镀膜腔体12也为圆筒形，其也包括依次相连接的顶壁、侧壁和底壁。所述侧壁上开设有第二开口 121。所述第二开口 121靠近所述第一开口 111。本实施例中，所述镀膜腔体12也为透明材质。所述阀门13连接于所述过渡腔体11的第一开口 111和镀膜腔体12的第二开口 121之间，用于在开启时连通过渡腔体11和镀膜腔体12，并用于在关闭时隔离过渡腔体11 和镀膜腔体12。本实施例中，所述阀门13为插板阀，其包括密封壳体130和移动插板131。 所述密封壳体130用于连通所述过渡腔体11和镀膜腔体12，并使所述过渡腔体11和镀膜腔体12与外界隔离开。所述密封壳体130具有连通于过渡腔体11的第一开口 111和镀膜腔体12的第二开口 121之间的连通开口 132。所述移动插板131可相对于所述密封壳体 130移动，以开放或封闭所述连通开口 132。每个料杆14均包括如图2所示的承靠部140、杆体141、卡销142和多个承载盘 143。所述杆体141大致为圆柱体形，其一端设置有所述承靠部140，另一端设置有卡销142。 所述承靠部140的横截面可为圆形，其基本与杆体141同轴连接。所述卡销142与所述杆体141基本垂直，即，卡销142的中心轴线与杆体141的中心轴线基本垂直。所述多个承载盘143彼此间隔地套设于所述杆体141上，且均位于所述承靠部140和卡销142之间。每个承载盘143均用于承载多个工件，从而每个料杆14均可以承载多个工件进行镀膜。所述第一料架15可转动地设置于所述过渡腔体11内，用于设置多个料杆14。所述第一料架15包括一个第一顶板150、多个第一支撑杆151和一个第一底板152。所述第一底板152与所述第一顶板150相对设置。所述多个第一支撑杆151垂直连接于所述第一顶板150和第一底板152之间。所述第一顶板150用于与所述多根料杆14的承靠部140 对应配合。所述第一底板152用于与所述多根料杆14的卡销142对应配合，从而将所述多根料杆1本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种镀膜装置，其包括过渡腔体、镀膜腔体、阀门、多个料杆、第一料架、第二料架以及料杆转移装置，所述多个料杆用于设置多个工件，所述第一料架和料杆转移装置设置于过渡腔体内，所述第二料架设置于镀膜腔体内，所述阀门连接于所述过渡腔体和镀膜腔体之间，用于在开启时连通过渡腔体和镀膜腔体，并用于在关闭时隔离过渡腔体和镀膜腔体，所述第一料架和第二料架均用于设置所述多个料杆，所述料杆转移装置包括驱动机构、夹爪及挡板，所述夹爪用于在驱动机构驱动下，在过渡腔体和镀膜腔体连通时将所述多个料杆自所述第一料架一一转移至第二料架，或者用于将所述多个料杆自所述第二料架一一转移至第一料架，所述挡板设置于所述驱动机构，并靠近所述夹爪，所述挡板用于将转移过程中从料杆上脱落的工件从所述阀门处移除。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王仲培，
申请(专利权)人：鸿富锦精密工业深圳有限公司，鸿海精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：94
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