下载镀膜装置及镀膜方法的技术资料

文档序号:6841148

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一种镀膜装置,其包括过渡腔体、镀膜腔体、阀门、多个料杆、第一料架、第二料架以及料杆转移装置。所述料杆转移装置设置于过渡腔体内。所述阀门连接于所述过渡腔体和镀膜腔体之间,用于在开启时连通过渡腔体和镀膜腔体,并用于在关闭时隔离过渡腔体和镀膜腔体...
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