一种多晶硅铸锭炉制造技术

技术编号:6805655 阅读:295 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开了一种多晶硅铸锭炉,可以使用设置在炉体上的微波产生装置产生微波并对炉体内的多晶硅原料进行加热。由于处于电磁场内的多晶硅原料可以直接吸收微波的部分能量而被加热,因此加热较为均匀。本发明专利技术提供的一种多晶硅铸锭炉可以有效减小加热时间,提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及多晶硅
,特别是涉及一种多晶硅铸锭炉
技术介绍
在太阳能电池板的制作过程中,使用多晶硅铸锭炉将多晶硅原料加热使其熔化, 然后通过改变加热器与多晶硅料的相对位置使熔化的多晶硅料从底部到顶部定向冷却凝固形成多晶硅锭是一个重要的生产环节。现有的多晶硅铸锭炉一般使用石墨电加热体对多晶硅原料进行加热。将多晶硅原料放在石英坩埚内,坩埚放在定向凝固块上,定向凝固块与炉底相连。石墨电加热体吊固在炉膛上部。炉体与炉底关闭后,抽真空、加热。为了使硅料加热均勻、快速,一般将石墨电加热体做成无底吊笼式,使石墨电加热体能够从侧面四周和顶部共同对多晶硅原料进行加热。待硅料全部熔化后,通过提升装置将炉底缓慢下移,坩埚内的硅料从底部开始冷却结晶,实现多晶硅的定向凝固生长。多晶硅锭的生产过程中,为了减小多晶硅原料熔化的时间,提高生产效率,需要多晶硅铸锭炉对多晶硅原料进行均勻加热。石墨电加热体的加热方式是一种由外向内进行加热的方式,虽然可以将石墨电加热体的形状制作地更加复杂,使石墨电加热体能够从侧面四周和顶部共同对多晶硅原料进行加热,但这种加热方式仍然无法对多晶硅原料进行均勻加热。
技术实现思路
本文档来自技高网
...

【技术保护点】
1.一种多晶硅铸锭炉,其特征在于,包括:炉体及设置在所述炉体上的微波产生装置,所述微波产生装置,用于产生微波并对所述炉体内的多晶硅原料进行加热。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:刘伏初李蔚霞刘元月李启刚
申请(专利权)人:湖南阳东磁性材料有限公司
类型:发明
国别省市:43

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1