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一种多晶硅铸锭炉制造技术
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下载一种多晶硅铸锭炉的技术资料
文档序号:6805655
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本发明公开了一种多晶硅铸锭炉,可以使用设置在炉体上的微波产生装置产生微波并对炉体内的多晶硅原料进行加热。由于处于电磁场内的多晶硅原料可以直接吸收微波的部分能量而被加热,因此加热较为均匀。本发明提供的一种多晶硅铸锭炉可以有效减小加热时间,提高...
该专利属于湖南阳东磁性材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖南阳东磁性材料有限公司授权不得商用。
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