【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种硅晶片生产设备,特别是一种硅晶片装片自动提升装置。
技术介绍
目前的硅晶片装片都要通过人工装入篮具内,这样既容易对硅晶片造成人为污 染,又增加工人的劳动强度,无法提高生产效率。为了使硅晶片的装片能自动化,为此需要 有将篮具能自动提升并一一将硅晶片插入的装置。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决上述技术的不足而提供一种生产效率高、不需人工 操作,能自动提升并一一将硅晶片插入篮具内的硅晶片装片自动提升装置。为了达到上述目的,本技术所设计的一种硅晶片装片自动提升装置,它包括 底座和篮具托盘,其特征是在底座上固定有伺服电机,伺服电机的输出连接有螺杆,螺杆与 托盘固定架内的内螺纹螺母连接,篮具托盘与托盘固定架固定,在篮具托盘上所置的篮具 的插片处设有插片信号感应传感器,插片信号感应传感器的感应信号与伺服电机的信号控 制连接。本技术得到的一种硅晶片装片自动提升装置,使用时,将篮具置于篮具托盘 内,每自动插入一片硅晶片,插片信号感应传感器都将感应到一次插片动作,然后传递给伺 服电机,伺服电机走动确定的位置带动螺杆转动确定的旋转角度,从而带动篮具托盘随托 盘固定架的上升而上升,最终按设定的高度提升硅晶片插入的篮具,将下一将插入使用的 篮具格对准下一步自动插入的硅晶片,完成自动提升并一一将硅晶片插入篮具内的目的。附图说明图1是本技术实施例1结构示意图。其中底座1、伺服电机2、托盘固定架3、螺杆4、篮具托盘5、篮具6、篮具格7、内 螺纹螺母8、插片信号感应传感器9。具体实施方式下面通过实施例结合附图对本技术作进一步的描述。实施例如图1所示,本实施例描述的一种硅 ...
【技术保护点】
一种硅晶片装片自动提升装置,它包括底座(1)和篮具托盘(5),其特征是在底座(1)上固定有伺服电机(2),伺服电机(2)的输出连接有螺杆(4),螺杆(4)与托盘固定架(3)内的内螺纹螺母(8)连接,篮具托盘(5)与托盘固定架(3)固定,在篮具托盘(5)上所置的篮具(6)的插片处设有插片信号感应传感器(9),插片信号感应传感器(9)的感应信号与伺服电机(2)的信号控制连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:沈汉明,
申请(专利权)人:浙江百力达太阳能有限公司,
类型:实用新型
国别省市:33[中国|浙江]
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