【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种太阳能电池扩散用的炉内排废装置。
技术介绍
扩散工序是在掺硼的硅衬底表面扩散磷，制作PN结，是实现光电转换的关键步 骤。PN结的状态很大程度上影响着太阳能电池最终的光电转换效率。扩散的均勻性一般用 扩散层方块电阻的均勻性来表征。扩散炉内的气氛均勻性是影响扩散均勻性的重要因素， 由于扩散源气体的进气口位于炉管尾部的中间位置，而排废抽风口位于炉口的底部，这样 就造成了气体流动方向的不对称，导致接近炉口的硅片方块电阻不均勻，而这是很难通过 调节温度来补偿的。方块电阻的不均勻直接导致转换效率下降0. 2个百分点以上。
技术实现思路
本技术的目的在于提供可实现炉内气体流向对称、均勻的排废抽风装置。为了达到上述目的，本技术的技术方案是提供了一种太阳能电池扩散排废装 置，其特征在于包括承插式环形石英管，承插式环形石英管设于炉体石英管的前端，在承 插式环形石英管上开有对称分布的孔，排废抽风管插入从炉体石英管内并与承插式环形石英管插接。本技术的优点是实现炉内气氛稳定，浓度较为均勻，提高硅片特别是靠近炉 口端的硅片的方块电阻均勻性，从而提高转换效率。附图说明图1为本技术提供的一种太阳能电池扩散排废装置示意图。具体实施方式实施例如图1所示，为本技术提供的一种太阳能电池扩散排废装置，包括承插式环 形石英管2，承插式环形石英管2位于炉体石英管3的前端，与炉口保留一段距离，以不影 响炉门1的运动。在其管壁上开有对称的8个小孔，其开口面积之和大致与进气管4的管 口面积相当。排废抽风管5从炉体石英管3的尾部预留口内插入，并与承插式环形石英管 2插接。运行扩散工艺时，携源气体...
【技术保护点】
一种太阳能电池扩散排废装置，其特征在于：包括承插式环形石英管（２），承插式环形石英管（２）设于炉体石英管（３）的前端，在承插式环形石英管（２）上开有对称分布的孔，排废抽风管（５）插入从炉体石英管（３）内并与承插式环形石英管（２）插接。
【技术特征摘要】
1. 一种太阳能电池扩散排废装置，其特征在于包括承插式环形石英管(2)，承插式环 形石英管(2)设于炉体石英管(3)的前端，...
【专利技术属性】
技术研发人员：王锋萍，
申请(专利权)人：浙江百力达太阳能有限公司，
类型：实用新型
国别省市：33[中国|浙江]
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