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一种真空抽取方法及装置制造方法及图纸

技术编号:6793823 阅读:284 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开了一种真空抽取方法及装置,该方法以密闭压力容器作为抽气装置,通过将密闭压力容器内的工作液体排出,使密闭压力容器内形成负压空间,并利用该负压空间来抽吸待制备真空的真空装置中的气体,使所述真空装置达到所需的真空度。与现有的机械往复式真空泵相比,本发明专利技术真空抽取装置中没有金属磨擦表面,无须对泵内进行润滑,避免了润滑油油污对周围的污染,而且,运转时噪声小、吸气量大。同时,工作液体在充满密闭压力容器的情况下,可有效提高所能达到的极限真空度和工作效率,另外,因工作液体在密闭系统中运转,损耗很小,因而工作过程中无需连续补充工作液体。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
1.一种真空抽取方法,其特征在于,该方法以密闭压力容器作为抽气装置,通过将密闭压力容器内的工作液体排出,使密闭压力容器内形成负压空间,并利用该负压空间来抽吸待制备真空的真空装置中的气体,最终使所述真空装置达到所需的真空度。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:刘庆明
申请(专利权)人:刘庆明
类型:发明
国别省市:94

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