【技术实现步骤摘要】
本技术涉及多晶炉领域，尤其涉及一种多晶炉炉压控制系统。
技术介绍
多晶炉是多晶硅转化为多晶硅锭工艺过程中的必备设备，而多晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。多晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的多晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。多晶炉红外控温系统作用如下在多晶炉铸锭过程中，在溶化、长晶、退火工序中， 需要按照工艺要求设定一定的氩气流量，并根据工艺要求控制腔体内压力。具体过程为通过真空压力计测定的炉压反馈给智能阀控制器，有智能阀控制器控制智能阀的开度，从而使炉内压力达到设定值。如图1所示，现有的多晶炉炉压自动控制系统包括PLC控制器、PC机、真空压力计和智能阀，所述PLC控制器与PC机互相传递数据，PLC控制器控制连接智能阀，所述的真空压力计的输出端连接PLC控制器，真空压力计收集到参数后送入PLC控制器内，由PLC控制器处理后对智能阀进行控制。这类控制系统中因PLC控制器同时还要进行其它的数据处理，例如伺服电机运转速度计算和控制、加热电源功率的计算和控制以及与控制电脑的通讯等，所以响应速度较慢。由于多晶炉内的炉压变化较快，情况复杂，而多晶硅的定向生长工艺要求生长环境的压力应是稳定的，不能有突变，这种响应速度较慢的控制方式无法根据炉压变化及时计算调整，从而影响定向生长的多晶硅锭的品质，包括电阻率的径向均勻度等指标。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种多晶炉炉压自动控制系统，该自动控制系统把智能阀控制器从PLC控制器中独立出来专门控制炉压，芯片功能单一，执行效...
【技术保护点】
１．一种多晶炉炉压自动控制系统，其特征是：包括ＰＬＣ控制器、ＰＣ机、真空压力计、智能阀控制器和智能阀，所述ＰＬＣ控制器与ＰＣ机互相传递数据，所述的智能阀控制器与ＰＬＣ控制器相连，智能阀控制器控制连接智能阀，所述的真空压力计的输出端连接智能阀控制器，ＰＬＣ控制器对智能阀控制器进行设定，真空压力计收集到参数后送入智能阀控制器内，由智能阀控制器处理后对智能阀进行控制，智能阀控制器将控制结果反馈给ＰＬＣ控制器。
【技术特征摘要】
1. 一种多晶炉炉压自动控制系统，其特征是包括PLC控制器、PC机、真空压力计、智能阀控制器和智能阀，所述PLC控制器与PC机互相传递数据，所述的智能阀控制器与PLC控制器相连，智能阀控制器控制连接智能阀...
【专利技术属性】
技术研发人员：周凯忠，
申请(专利权)人：宁夏日晶新能源装备股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：64
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。