传输系统以及包含该传输系统的等离子体加工设备技术方案

本实用新型专利技术提供一种传输系统及等离子体加工设备，该传输系统包括横梁以及沿所述横梁轴向设置的多个吸盘单元，所述吸盘单元包括垂直于所述横梁轴向而进行排列的n个吸盘组件，其中，n等于或大于2，每一个所述吸盘组件用于提取一个被加工工件。借助于多个吸盘单元上垂直于横梁轴向而进行排列的n个吸盘组件，传输系统一次操作可以实现n行电池片的传输。因此，传输系统的传输效率高，而且运行成本低。类似地，等离子体加工设备具有加工效率高、运行成本低的优点。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于光伏领域，涉及太阳能电池片的生产，具体涉及一种传输系统以及包含该传输系统的等离子体加工设备。
技术介绍
太阳能作为一种绿色新能源，其储量丰富、使用清洁，成为解决人类目前所面临的能源危机和环境危机的必然选择。光伏发电和光热发电是人类利用太阳能的主要方式，其中，光伏发电是借助太阳能电池片直接将太阳光转换为电能。近年来，随着太阳能光伏发电成本的降低，对太阳能电池片的需求越来越大，这促使太阳能电池片生产企业不断地改进设备、提高生产效率，以应对不断扩大的市场需求。为了提高生产效率，在加工太阳能电池片(下文称电池片)时，首先将多片电池片按一定的行距和间距(行距和间距由具体地工艺决定)放置在一载板上，然后将放置电池片的载板放入工艺腔室，这样，一个工艺周期即可完成多片电池片的加工。为了进一步提高加工效率，通常借助电池片传输系统(或龙门架传输系统)自动完成电池片在载板上的传输(取放)过程。图1为电池片传输系统的结构简图。请参阅图1，电池片传输系统包括一个横梁1、两个电动缸2、两个电机3以及与载板上一行电池片数量对应的多个吸盘组件4，每一个吸盘组件4可以提取一片电池片。其中，两个电动缸2水平设置且相互平行，沿电动缸2的轴向设有导轨21。横梁1设置在电动缸2的顶部，并且借助滑块(图中未示出)沿导轨21在装料台、载板5以及卸料台之间移动。两个电机3分别设置在两个电动缸2的一端。使用时，电机3驱动横梁1沿导轨21移动。多个吸盘组件4设置在固定板6上，固定板6通过连接板7固定在横梁1上，而且，固定板6的轴向与横梁1的轴向平行，从而使多个吸盘组件4沿横梁1的轴向设置。这样，电池片传输系统一次可以吸放载板5上的一行电池片。在固定板6和连接板7之间还设有气缸(图中未示出)，其中，固定板6与气缸的活塞连接，连接板7与气缸的底座连接。在气缸的作用下，吸盘组件4可以远离或靠近载板5，即可以在竖直方向实现升降。图2为电池片传输系统中吸盘组件的结构简图。请参阅2，吸盘组件4包括四个接触吸盘41、一个非接触吸盘42以及一个吸盘固定件43。其中，非接触吸盘42设置在吸盘固定件43底部的中间位置，四个接触吸盘41对称地设置在非接触吸盘42底部的周边，具体地，可设置在吸盘固定件43底部的四个角部位置。非接触吸盘42采用非接触真空吸盘，其通过非接触吸盘管路421与气源(图中未示出)连接。当非接触吸盘42内通入气体后，非接触吸盘42的下方与被加工工件之间产生局部真空，从而使电池片受到朝向非接触吸盘42方向的吸引力，进而使电池片与接触吸盘41稳定接触。图3为电池片传输系统的气路控制单元的结构图。请参阅图3，在非接触吸盘42与CDA(Clean Dry Air)气源(这里CDA气源可简称气源)之间设有气路控制单元，该气路控制单元包括调速阀(截速阀)44以及电磁阀45，而且，气源、电磁阀45、调速阀44以及非接触吸盘42依次连接。电磁阀45打开后，非接触吸盘42即与气源连通。调速阀44用于-->调节通入非接触吸盘42的气体流量，从而可以调节非接触吸盘42与电池片之间的局部真空压力的大小，进而可以调节作用在电池片上的吸引力的大小。上述电池片传输系统的具体操作过程如下：在电机3的驱动下，横梁1移动到载板5的上方，吸盘组件4降下；闭合电磁阀45并调节调速阀44，使吸盘组件4吸起已加工电池片；吸盘组件4升起，横梁1在电机3的驱动下移动到卸料台；吸盘组件4降下，调节调速阀44减小吸引力，使已加工电池片被放置在卸料台上，然后关闭电磁阀45，并升起吸盘组件4；横梁1在电机3的驱动下移动到装料台；降下吸盘组件4，闭合电磁阀45并调节调速阀44，吸盘组件4自装料台吸起未加工电池片；升起吸盘组件4，横梁1在电机3的驱动下再次移动到载板5的上方；降下吸盘组件4，调节调速阀44逐渐减小吸引力，使未加工电池片被放置在载板5上，然后关闭电磁阀45，升起吸盘组件4。重复上述步骤，将未加工电池片传输至载板5上，并将载板5上的已加工电池片传输至卸料台。然而，由于技术的进步，电池片在工艺腔室内的加工时间越来越短，导致上述电池片传输系统无法满足电池片的传输要求。因此，技术人员对上述电池片传输系统进行了改进。图4为改进后的电池片传输系统的结构简图。请参阅图4，电池片传输系统包括两个横梁1，四个电动缸2、四个电机3以及多个吸盘组件4。改进后的电池片传输系统实际上是将改进前的两套电池片传输系统简单地叠加，即将两套电池片传输系统沿载板5的长度方向设置。虽然改进后的电池片传输系统在一定程度上提高了电池片的传输效率，但其结构复杂，制造及运行成本较高。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题就是针对电池片传输系统存在的上述缺陷，提供一种传输系统以及包含该传输系统的等离子体加工设备，其不仅可以提高被加工工件的传输效率，而且结构简单、制造和运行成本低。解决上述技术问题的所采用的技术方案是提供一种传输系统，包括横梁以及沿所述横梁轴向设置的多个吸盘单元，所述吸盘单元包括垂直于所述横梁轴向而进行排列的n个吸盘组件，其中，n等于或大于2，且每一个所述吸盘组件用于提取一个被加工工件。其中，每一个吸盘单元中相邻的两个所述吸盘组件之间的间距等于放置在载板上的两行相邻被加工工件的间距，或者等于放置在载板上的两行相邻被加工工件的间距的整数倍。其中，还包括用于放置来自载板的被加工工件的卸料台，每一个吸盘单元中相邻两个所述吸盘组件之间的间距等于相邻所述卸料台之间的间距。其中，所述吸盘组件包括一个非接触吸盘、至少两个接触吸盘以及吸盘固定件，所述非接触吸盘设置在所述吸盘固定件底部的中间位置，所述接触吸盘设置所述非接触吸盘的周边位置。其中，所述吸盘组件包括四个所述接触吸盘，所述四个接触吸盘对称地设置在所述吸盘固定件底部的周边位置。其中，所述接触吸盘包括支撑体以及橡胶套，所述支撑体一端连接所述吸盘固定件的底部、另一端连接所述橡胶套。其中，所述支撑体的内部设有通气孔，所述通气孔通过电磁阀与气源连接，来自所-->述气源的气体借助所述通气孔被吹向被加工工件。其中，所述非接触吸盘采用非接触式真空吸盘，所述非接触吸盘通过电磁阀与气源连接。其中，在所述电磁阀与所述非接触吸盘之间还设有调速阀，用于调节流向所述非接触吸盘的气体流量。其中，所述n个吸盘组件的吸盘固定件为一体结构。本技术还提供一种等离子体加工设备，包括用于传输被加工工件的传输系统，所述传输系统采用本技术提供的所述传输系统。本技术具有以下有益效果：在本技术提供的传输系统中，设置在横梁上的多个吸盘单元具有以下特征：即，每个吸盘单元包括垂直于所述横梁轴向而进行排列的n个吸盘组件，其中，n等于或大于2，每个吸盘组件可对应地吸起一个被加工工件，相应地，每个吸盘单元可以吸起n个被加工工件。借助于多个吸盘单元以及其上的n个吸盘组件，该传输系统一次可以传输n行被加工工件，这不仅减少了被加工工件的传输时间，提高了传输系统的传输效率；而且，还可以减少传输系统的运行成本。类似地，本技术提供的等离子体加工设备，由于其传输系统采用本技术提供的一种传输系统，借助该传输系统一次可以传输n行被加工工件。因此，该等离子体加工设备的加工效率高，而且运行成本低。附图说明图1为电池片本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种传输系统，包括横梁以及沿所述横梁轴向设置的多个吸盘单元，其特征在于，所述吸盘单元包括垂直于所述横梁轴向而进行排列的ｎ个吸盘组件，其中，ｎ等于或大于２，且每一个所述吸盘组件用于提取一个被加工工件。

【技术特征摘要】
1.一种传输系统，包括横梁以及沿所述横梁轴向设置的多个吸盘单元，其特征在于，所述吸盘单元包括垂直于所述横梁轴向而进行排列的n个吸盘组件，其中，n等于或大于2，且每一个所述吸盘组件用于提取一个被加工工件。2.根据权利要求1所述的传输系统，其特征在于，每一个吸盘单元中相邻的两个所述吸盘组件之间的间距等于放置在载板上的两行相邻被加工工件的间距，或者等于放置在载板上的两行相邻被加工工件的间距的整数倍。3.根据权利要求1所述的传输系统，其特征在于，还包括用于放置来自于载板的被加工工件的卸料台，每一个吸盘单元中相邻两个所述吸盘组件之间的间距等于相邻所述卸料台之间的间距。4.根据权利要求1所述的传输系统，其特征在于，所述吸盘组件包括一个非接触吸盘、至少两个接触吸盘以及吸盘固定件，所述非接触吸盘设置在所述吸盘固定件底部的中间位置，所述接触吸盘设置所述非接触吸盘的周边位置。5.根据权利要求4所述的传输系统，其特征在于，所述吸盘组件包括四个所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：张金斌，
申请(专利权)人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，
类型：实用新型
国别省市：11