多晶硅氢化炉用U型炭/炭发热体的孔加工装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种多晶硅氢化炉用U型炭/炭发热体的孔加工装置，包括固定在铣床工作台上的基体、安装在基体上端的定位固定块和安装在定位固定块上端的压板；基体的上表面设有基体定位槽，基体的中间位置处设有龙门型开口，基体的底端设有基体凸台；定位固定块的上表面设有发热体定位槽，定位固定块的下端设有与基体定位槽相配合的定位凸台；压板为中间设有方孔的类似“回”形板；基体与定位固定块、定位固定块与压板均通过螺栓相固定。本实用新型专利技术结构设计合理、使用操作简便、制造成本低且生产效率高、所加工产品性能优异，能有效解决现有多晶硅氢化炉用U型炭/炭发热体的孔加工过程中孔偏的实际问题。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于高温炉用炭/炭热场材料制备的工艺装备
，尤其是涉及一种多晶硅氢化炉用U型炭/炭发热体的孔加工装置。
技术介绍
高温炉作为粉末冶金、新材料、新能源、国防工业等领域常用设备之一，得到了广泛的应用。高温炉用热场材料具有功能和结构双重功效，作为消耗部件，每年的消耗量巨大。近年来，由于炭/炭复合材料制备技术的进步及自身优异的力学性能，使高温炉用热场材料逐步由石墨材料转向炭/炭复合材料。多晶硅氢化炉为高温炉的典型代表，随着近年来多晶硅行业的蓬勃发展，多晶硅氢化炉作为改良西门子法制备多晶硅的主要设备之一，得到了广泛的应用。多晶硅氢化炉运行时，炉内温度一般为1100°c 1500°C，并伴随着大量的H2、SiHCl3、SiCl4等工作介质。 在高温状态下，工作介质容易与C发生反应，生成SiC，会使石墨材料更加容易腐蚀及脆断。 目前，多晶硅氢化炉的发热体主要有两种一种为石墨材料，一般加工成柱状并组装成U型回路；另一种为炭/炭复合材料，一般为整体成形并加工成U型片状，此种结构由于炭/炭复合材料优异的力学性能及抗腐蚀性能，得到了最为广泛的应用。如图4所示，发热体每条支臂的头部会有2 4个孔，用于通过螺栓与电极装配。 为了减小孔的位置误差对装配的影响，一般会将孔设计成椭圆形状，同时为了确保装配，对同一条支臂上的孔、及两条支臂上的对应孔的位置要求较严格，传统的加工方法主要是将产品装夹到铣床工作台上后进行对刀，计算出零点后进行铣削，在工业化生产的过程中效率极低，质量一致性差，且经常发生孔的位置误差较大的情况，尤其是孔偏向一侧的情况最为常见。由于孔加工过程中孔偏引起的产品报废造成了很大的原料浪费。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足，提供一种多晶硅氢化炉用U型炭/炭发热体的孔加工装置，其结构设计合理、使用操作简便、制造成本低且生产效率高、所加工产品性能优异，能有效解决现有多晶硅氢化炉用U型炭/炭发热体的孔加工过程中孔偏的实际问题。为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是一种多晶硅氢化炉用U型炭/炭发热体的孔加工装置，其特征在于包括固定在铣床工作台上的基体、安装在基体上端的定位固定块和安装在定位固定块上端的压板；所述基体的上表面中间位置处设有基体定位槽，所述基体的上表面设有多个螺栓安装孔一，所述基体的中间位置处设有用于放置U 型炭/炭发热体的一条侧边的龙门型开口，所述基体的底端设有用于装入到铣床工作台上的定位槽内的基体凸台，所述基体的底端对称设置有多个螺栓安装孔二，所述基体和铣床工作台通过安装到多个螺栓安装孔二中的多个螺栓一相固定；所述定位固定块的上表面中间位置处设有用于装入U型炭/炭发热体的另一条侧边的发热体定位槽，所述定位固定块的上表面设有分别与多个螺栓安装孔一相对应的多个螺栓安装孔三，所述固定块和基体通过对应安装到多个螺栓安装孔三和多个螺栓安装孔一中的多个螺栓二相固定，所述定位固定块的下端设有与基体定位槽相配合的定位凸台；所述压板为中间设有方孔的类似“回”形板，所述压板的上表面设有分别与多个螺栓安装孔三相对应的螺栓安装孔四，所述压板和固定块通过对应安装到多个螺栓安装孔四和多个螺栓安装孔三中的多个螺栓三相固定。上述的多晶硅氢化炉用U型炭/炭发热体的孔加工装置，所述螺栓安装孔一为螺纹孔，所述螺栓安装孔二和螺栓安装孔四均为光孔，所述螺栓安装孔三为沉孔。上述的多晶硅氢化炉用U型炭/炭发热体的孔加工装置，所述螺栓安装孔一、螺栓安装孔二、螺栓安装孔三和螺栓安装孔四均为四个。上述的多晶硅氢化炉用U型炭/炭发热体的孔加工装置，所述螺栓二的底端安装有垫片。上述的多晶硅氢化炉用U型炭/炭发热体的孔加工装置，所述发热体定位槽的宽度与所加工的U型炭/炭发热体的宽度相配合，所述发热体定位槽的深度尺寸比所加工的 U型炭/炭发热体的厚度尺寸小lmm-2mm。本技术与现有技术相比具有以下优点1、本技术的结构设计合理，使用操作便捷，制造成本低且节能环保。2、本技术的互换性能好，加工不同规格的U型炭/炭发热体只需更换不同规格的定位固定块即可，有效地节约了成本。3、本技术所加工的产品一致性好、质量好，性能优异，能有效解决现有多晶硅氢化炉用U型炭/炭发热体的孔加工过程中孔偏的实际问题。4、本技术用于批量生产U型炭/炭发热体的生产效率高，可满足使用需求，便于推广使用。下面通过附图和实施例，对本技术的技术方案做进一步的详细描述。附图说明图1为本技术的主体图。图2为本技术除U型炭/炭发热体外的俯视图。图3为本技术的左视图。图4为本技术U型炭/炭发热体的结构示意图。附图标记说明1-基体；1-1-基体定位槽；1-2-龙门型开口 ；1-3-基体凸台；2-定位固定块；2-1-发热体定位槽；2-2-螺栓安装孔三；2-3-定位凸台；3-压板；3-1-方孔；4-U型炭/炭发热体；4-1-U型炭/炭发热体的孔；5-铣床工作台；6-螺栓一；7-螺栓二 ；8-螺栓三；9-垫片；10-键槽铣刀；11-定位基准；12-T型块。具体实施方式如图1、图2和图3所示，本技术包括固定在铣床工作台5上的基体1、安装在基体1上端的定位固定块2和安装在定位固定块2上端的压板3 ；所述基体1的上表面中间位置处设有基体定位槽1-1，所述基体1的上表面设有多个螺栓安装孔一，所述基体1的中间位置处设有用于放置U型炭/炭发热体4的一条侧边的龙门型开口 1-2，所述基体1的底端设有用于装入到铣床工作台5上的定位槽内的基体凸台1-3，所述基体1的底端对称设置有多个螺栓安装孔二，所述基体1和铣床工作台5通过安装到多个螺栓安装孔二中的多个螺栓一 6相固定；所述定位固定块2的上表面中间位置处设有用于装入U型炭/炭发热体4的另一条侧边的发热体定位槽2-1，所述定位固定块2的上表面设有分别与多个螺栓安装孔一相对应的多个螺栓安装孔三2-2，所述固定块2和基体1通过对应安装到多个螺栓安装孔三和多个螺栓安装孔一中的多个螺栓二 7相固定，所述定位固定块2的下端设有与基体定位槽1-1相配合的定位凸台2-3 ；所述压板3为中间设有方孔3-1的类似“回”形板，所述压板3的上表面设有分别与多个螺栓安装孔三2-2相对应的螺栓安装孔四，所述压板3和固定块2通过对应安装到多个螺栓安装孔四和多个螺栓安装孔三2-2中的多个螺栓三8相固定。如图1、图2和图3所示，本实施例中，所述螺栓安装孔一为螺纹孔，所述螺栓安装孔二和螺栓安装孔四均为光孔，所述螺栓安装孔三为沉孔。所述螺栓安装孔一、螺栓安装孔二、螺栓安装孔三和螺栓安装孔四均为四个。所述螺栓二 7的底端安装有垫片9。所述发热体定位槽2-1的宽度与所加工的U型炭/炭发热体4的宽度相配合，所述发热体定位槽 2-1的深度尺寸比所加工的U型炭/炭发热体4的厚度尺寸小lmm-2mm。如图1、图2和图3所示，以加工长度为2000mm，宽度为80mm，壁厚为IOmm的U型炭/炭发热体为例，本技术的工作过程如下(1)根据所加工的U型炭/炭发热体的宽度和壁厚尺寸选取合适的定位固定块2， 将其安装在基体1上，保证定位凸台2-3装入基体定位槽1-1且配合良好后，用四个螺栓二 7固定。(2)将(1)中安装了定位固本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种多晶硅氢化炉用Ｕ型炭／炭发热体的孔加工装置，其特征在于：包括固定在铣床工作台（５）上的基体（１）、安装在基体（１）上端的定位固定块（２）和安装在定位固定块（２）上端的压板（３）；所述基体（１）的上表面中间位置处设有基体定位槽（１－１），所述基体（１）的上表面设有多个螺栓安装孔一，所述基体（１）的中间位置处设有用于放置Ｕ型炭／炭发热体（４）的一条侧边的龙门型开口（１－２），所述基体（１）的底端设有用于装入到铣床工作台（５）上的定位槽内的基体凸台（１－３），所述基体（１）的底端对称设置有多个螺栓安装孔二，所述基体（１）和铣床工作台（５）通过安装到多个螺栓安装孔二中的多个螺栓一（６）相固定；所述定位固定块（２）的上表面中间位置处设有用于装入Ｕ型炭／炭发热体（４）的另一条侧边的发热体定位槽（２－１），所述定位固定块（２）的上表面设有分别与多个螺栓安装孔一相对应的多个螺栓安装孔三（２－２），所述固定块（２）和基体（１）通过对应安装到多个螺栓安装孔三和多个螺栓安装孔一中的多个螺栓二（７）相固定，所述定位固定块（２）的下端设有与基体定位槽（１－１）相配合的定位凸台（２－３）；所述压板（３）为中间设有方孔（３－１）的类似“回”形板，所述压板（３）的上表面设有分别与多个螺栓安装孔三（２－２）相对应的螺栓安装孔四，所述压板（３）和固定块（２）通过对应安装到多个螺栓安装孔四和多个螺栓安装孔三（２－２）中的多个螺栓三（８）相固定。...

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅氢化炉用U型炭/炭发热体的孔加工装置，其特征在于包括固定在铣床工作台(5)上的基体(1)、安装在基体(1)上端的定位固定块(2)和安装在定位固定块 (2)上端的压板(3)；所述基体(1)的上表面中间位置处设有基体定位槽(1-1)，所述基体 (1)的上表面设有多个螺栓安装孔一，所述基体(1)的中间位置处设有用于放置U型炭/炭发热体(4)的一条侧边的龙门型开口(1-2)，所述基体(1)的底端设有用于装入到铣床工作台(5)上的定位槽内的基体凸台(1-3)，所述基体(1)的底端对称设置有多个螺栓安装孔二，所述基体(1)和铣床工作台(5)通过安装到多个螺栓安装孔二中的多个螺栓一(6)相固定；所述定位固定块O)的上表面中间位置处设有用于装入U型炭/炭发热体的另一条侧边的发热体定位槽0-1)，所述定位固定块O)的上表面设有分别与多个螺栓安装孔一相对应的多个螺栓安装孔三0-2)，所述固定块( 和基体(1)通过对应安装到多个螺栓安装孔三和多个螺栓安装孔一中的多个螺栓二(7)相固定，所述定位固定块的下端设有与基体定位槽(1-1)...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵大明，刘晴云，李小波，汪志虎，张飞飞，阮雪，
申请(专利权)人：西安超码科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：87