【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种沉积炉，具体涉及一种具有旋流气场的沉积炉，属于化学气相沉积设备。
技术介绍
1、近年来，我国c/c复合材料的制备已趋于成熟，在航天、航空、交通等诸多领域已得到广泛应用，并随着社会的发展和科技的进步，对c/c复合材料产品的质量有了更高的要求。
2、化学气相沉积是一种被广泛应用于生产c/c复合材料的工艺方法。影响c/c复合材料制备及性能的因素很多，cvi(化学气相渗透工艺)设备尺寸、致密化温度、压力、气体流量、气体停留时间、气流的分布和走向、热传质方式、冷却温度及速率、气体初始温度等均会对材料微观结构及性能产生影响。现有的cvi设备，大多是从设备底部通过进气管路向沉积炉内输送碳源气体，碳源气体以一定的流量、流速直接通入到炉内，炉内会存在气量不均，加热不均的现象，从而直接导致沉积炉内梯度方向上产品出现的增密差，且炉内各区域已分解前驱体密度不同而产生的相同位置产品的增密差，极大影响c/c复合材料的性能。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是：针对现有技术的不足，提供一...
【技术保护点】
1.一种具有旋流气场的沉积炉，包括：旋转动力机构、支撑承重机构、隔热保温机构以及进气机构，其特征在于：
2.如权利要求1所述的具有旋流气场的沉积炉，其特征在于：所述进气机构包括：主进气管(12)、旋转接头(13)及分气盘(14)；
3.如权利要求2所述的具有旋流气场的沉积炉，其特征在于：多路气体管路的出气口位于所述上承重板(5)上方不同高度、不同方位处；且所述气体管路的出气方向可调。
4.如权利要求1所述的具有旋流气场的沉积炉，其特征在于：所述外保温棉(8)与所述内保温棉(7)之间为动密封。
5.如权利要求2所述的具有旋...
【技术特征摘要】
1.一种具有旋流气场的沉积炉，包括：旋转动力机构、支撑承重机构、隔热保温机构以及进气机构，其特征在于：
2.如权利要求1所述的具有旋流气场的沉积炉，其特征在于：所述进气机构包括：主进气管(12)、旋转接头(13)及分气盘(14)；
3.如权利要求2所述的具有旋流气场的沉积炉，其特征在于：多路气体管路的出气口位于所述上承重板(5)上方不同高度、不同方位处；且所述气体管路的出气方向可调。
4.如权利要求1所述的具有旋流气场的沉积炉，其特征在于：所述外保温棉(8)与所述内保温棉(7)之间为动密封。
5.如权利要求2所述的具有旋流气场的沉积炉，其特征在于：所述外保温棉(8)与所述内保温棉(7)之间采用迷宫式设计，两者之间间隙为2～10mm，间隙处设有石墨垫片(9)。
6.如权利要求1所述的具有旋流气场的沉积炉，其特征在于：所述伺服电机(1)与所述沉积炉的炉...
【专利技术属性】
技术研发人员：张灵玉，张亚超，苏超，王佳，程皓，赵大明，孟凡才，李国丹，苏嘉新，龚静博，
申请(专利权)人：西安超码科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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