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本发明涉及化学气相沉积设备技术领域，具体涉及一种沉积炉。一种具有旋流气场的沉积炉，包括：旋转动力机构、支撑承重机构、隔热保温机构以及进气机构；旋转动力机构安装在沉积炉的炉底，用于带动支撑承重机构旋转；支撑承重机构位于沉积炉内，底部安装有进气...
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