【技术实现步骤摘要】
公开涉及一种沉积设备。更具体地，公开涉及一种用于制造显示面板的沉积设备。
技术介绍
1、诸如电视、移动电话、平板计算机、导航装置和游戏装置的显示装置包括显示图像的显示面板。显示面板包括像素。每个像素包括驱动元件(诸如晶体管)和显示元件(诸如有机发光二极管)。通过在基底上沉积电极和发光图案来形成显示元件。
2、使用通过其限定沉积开口的掩模来形成发光图案。近年来，为了改善显示面板的成品率，正在开发使用大面积掩模的沉积工艺的技术。
3、然而，当掩模没有放置在沉积设备中的期望位置时，发光图案没有精确地形成在期望位置。
技术实现思路
1、公开提供一种能够在基本上大的区域上执行沉积工艺并且改善沉积精度和可靠性的沉积设备。
2、专利技术构思的实施例提供了一种沉积设备，所述沉积设备包括：沉积构件，提供沉积材料；台，包括第一后表面、第一前表面和第一内侧表面，第一后表面面对沉积构件，第一前表面与第一后表面相对，第一内侧表面延伸到第一后表面和第一前表面，限定第一开口，并且相对...
【技术保护点】
1.一种沉积设备，所述沉积设备包括：
2.根据权利要求1所述的沉积设备，其中，所述散热板包括平坦部分和从所述平坦部分弯曲的倾斜部分，所述平坦部分覆盖所述第一后表面，并且所述倾斜部分覆盖所述第一内侧表面和所述第二内侧表面。
3.根据权利要求2所述的沉积设备，其中，所述倾斜部分与所述第二内侧表面间隔开。
4.根据权利要求3所述的沉积设备，其中，所述倾斜部分与所述第二内侧表面之间的距离等于或大于2毫米且等于或小于10毫米。
5.根据权利要求3所述的沉积设备，其中，所述倾斜部分与所述平坦部分之间的角度等于或大于110度且等于或小
...【技术特征摘要】
1.一种沉积设备，所述沉积设备包括：
2.根据权利要求1所述的沉积设备，其中，所述散热板包括平坦部分和从所述平坦部分弯曲的倾斜部分，所述平坦部分覆盖所述第一后表面，并且所述倾斜部分覆盖所述第一内侧表面和所述第二内侧表面。
3.根据权利要求2所述的沉积设备，其中，所述倾斜部分与所述第二内侧表面间隔开。
4.根据权利要求3所述的沉积设备，其中，所述倾斜部分与所述第二内侧表面之间的距离等于或大于2毫米且等于或小于10毫米。
5.根据权利要求3所述的沉积设备，其中，所述倾斜部分与所述平坦部分之间的角度等于或大于110度且等于或小于130度。
6.根据权利要求3所述的沉积设备，其中，所述倾斜部分在平面图中与所述多个沉积开口间隔开。
7.根据权利要求2所述的沉积设备，其中，所述第二内侧表面包括：
8.根据权利要求7所述的沉积设备，其中，所述第一倾斜表面、所述第二倾斜表面、所述第三倾斜表面和所述第四倾斜表面彼此不叠置。
9.根据权利要求8所述的沉积设备，其中，所述散热板还包括覆盖构件，所述第二内侧表面的至少一部分被暴露而不被所述第一倾斜表面、所述第二倾斜表面、所述第三倾斜表面和所述第四倾斜表面覆盖，并且所述覆盖构件覆盖所述第二内侧表面的所述至少一部分。
10.根据权利要求7所述的沉积设备，其中，所述第一倾斜表面、所述第二倾斜表面、所述第三倾斜表面和所述第四倾斜表面在平面图中彼此叠置。
11.根据权利要求1所述的沉积设备，其中，所述第一内侧表面与所述第二内侧表面对准。
12.根据权利要求1所述的沉积设备，所述沉积设备还包括结合到所述台并且支撑所述散热板的支撑构件。
13.根据权利要求12所述的沉积设备，其中，所述台还包括限定在所述第一内侧表面中的凹槽，并且所述支撑构件插入到所述凹槽中。
14.根据权利要求13所述的沉积设备，其中，所述凹槽的至少一部分与所述支撑构件间隔开。
15.根据权利要求12所述的沉积设备，其中...
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