单晶炉中三瓣埚制造技术

本实用新型专利技术涉及一种单晶炉的三瓣埚，三瓣埚每瓣埚的两端上边口各打一个的斜角，用钼丝固定两瓣埚；能够解决由于三瓣埚所用次数过多后造成的埚瓣与埚瓣之间缝隙过大的问题，大大的提高了石英坩埚的寿命和埚位的稳定性。。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种用于直拉硅单晶炉的加热设备，特别是涉及一种单晶炉中三瓣埚。技术背景硅硅单晶的大部分用切克劳斯基(Czochralski)法制造。在这种方法中，多晶硅被装进石英坩埚，加热熔化，然后，将熔硅略作降温，给予一定的过冷度，把一只特定晶向的硅单晶体(籽晶)与熔体硅接触，通过调整熔体的温度和籽晶向上提升的速度，使籽晶缩颈排除位错后长大至目标直径时，提高提升速度，使单晶体恒直径生长。在生长过程的尾期， 此时埚内的硅熔体尚未完全消失，通过增加晶体的提升速度和调节向埚的供热量将晶体直径逐渐减小而形成一个尾形锥体，当锥体的尖足足够小时，晶体就会与熔体脱离，从而完成晶体的生长过程。直径硅单晶在制造时大致分为这么几个阶段装多晶料、抽空、多晶硅熔化、晶和肩的生长、等直径生长、尾部晶体生长、晶体冷却。由于在高温过程中，承载设备三瓣埚会因为氧化等作用而发生损耗，特别埚瓣与埚瓣之间的间隙将变大，造成生产上的不便。
技术实现思路
；本技术将旧三瓣埚每瓣埚的两端上边口各打一个45°的斜角，用钼丝固定两瓣埚。本技术的设计，能够解决由于三瓣埚所用次数过多后造成的埚瓣与埚瓣之间缝隙过大的问题。三瓣埚所用次数过多后埚瓣与埚瓣之间缝隙会越来越大，由于石英坩埚在高温下会变软，会根据石墨坩埚的形状而变化。如果三瓣埚之间的缝隙过大，石英坩埚会膨胀开，影响石英坩埚的寿命和埚位的稳定性。如果缝隙再大点的话，会导致三瓣埚与加热器摩擦，使得液面晃动；更严重的会导致打火，损害加热器。本技术将旧三瓣埚每瓣埚的两端上边口各打一个45°的斜角，用钼丝固定两瓣埚，这样两两固定后，三瓣埚会和新的一样严丝合缝。这样石英坩埚高温软化后的形状会更固定，对熔体埚位的影响更低，也会降低与加热器摩擦的可能性。本技术的运用，对于延长三瓣埚的使用次数，完善石英坩埚使用后形状控制和熔体埚位控制，减少由于三瓣埚的原因导致与加热器的摩擦可能性起到了有效地作用。附图说明以下结合附图和实施例对本技术进一步说明。附图1本技术结构示意图的主剖视图；附图2、三瓣埚俯视图；附图3、单瓣埚侧视图。附图中1、2、3是三瓣埚，4是钼丝，5是石英坩埚，6是熔体，7是加热器。具体实施方式 本主要包括三瓣埚(1、2、3)、钼丝0)、石英坩埚(5)、熔体(6)、加热器7将旧三瓣埚每瓣埚(1、2、3)的两端(1-1、1-2、2-1、2-2、3-1、3-2)上边口各打一个45°的斜角，用钼 (丝)4固定两瓣埚，这样两两固定后，三瓣埚会和新的一样严丝合缝。这样石英坩埚(5)高温软化后的形状会更固定，熔体(6)埚位稳定，也降低与加热器(7)摩擦的可能性。权利要求1.一种单晶炉的三瓣埚，其特征在于三瓣埚每瓣埚的两端上边口各打一个的斜角。2.根据专利要求1所述的三瓣埚，其特征在于三瓣埚每瓣埚的两端上边口斜角的角度为 45° 。专利摘要本技术涉及一种单晶炉的三瓣埚，三瓣埚每瓣埚的两端上边口各打一个的斜角，用钼丝固定两瓣埚；能够解决由于三瓣埚所用次数过多后造成的埚瓣与埚瓣之间缝隙过大的问题，大大的提高了石英坩埚的寿命和埚位的稳定性。。文档编号C30B15/10GK201942781SQ20102055719公开日2011年8月24日 申请日期2010年10月9日 优先权日2010年10月9日专利技术者殷国庆 申请人:常州益鑫新能源科技有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种单晶炉的三瓣埚，其特征在于三瓣埚每瓣埚的两端上边口各打一个的斜角。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：殷国庆，
申请(专利权)人：常州益鑫新能源科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32