【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体
,特别是指氮化镓基发光二极管器件工艺领域。
技术介绍
GaN基LED是一种电致发光器件,因此需要在发光材料表面制作电极,从电极注入电流来驱动LED发光。电极的面积大小对LED的光电性能有很大的影响,一方面电极面积越大,电流注入越容易,电流分布能做到更均勻,工作电压也能降低,这有利于提高电光转化效率;另一方面电极都是吸光材料,其面积越大遮光面也越大,这会导致电光转化效率的下降。为了解决这一矛盾,业界很早就提出了在LED上制作电流阻挡层的办法,即在距离电极正下方一定深度的位置制作绝缘材料来阻止这块区域的电流通过,这样在电极的正下方就不会发光,所以电极实际上就没有或很少遮光,从而提高了 LED的电光转化效率。LED的电流阻挡层的制作方法有很多种,单是其工艺过程一般都相对复杂,制作成本相对较大。
技术实现思路
本专利技术的目的在于,提供一种,该方法是通过对P-GaN表面进行退火、等离子体轰击、离子注入、溶液浸泡等处理,使P-GaN表面变成高阻层,从而起到电流阻挡层地作用,这提高LED的发光效率,降低工艺制作成本。本专利技术提供一种,包括如下步骤步骤1 取一氮化镓LED外延片,该外延片由衬底,N型氮化镓,多量子阱,铝镓氮 EBL和P型氮化镓组成;步骤2 将该氮化镓LED外延片隔离成多个重复单元,每个单元就是一个独立的 LED芯片;步骤3 对每个单元上表面的选定区域进行表面处理,使P型氮化镓的表层的中心区域形成电流阻挡层;步骤4 在每个单元上表面制作P电极,该P电极覆盖整个电流阻挡层及P型氮化镓,完成氮化镓基发光二极管电流阻挡层的制作。其中 ...
【技术保护点】
1.一种氮化镓基发光二极管电流阻挡层的制作方法,包括如下步骤:步骤1:取一氮化镓LED外延片,该外延片由衬底,N型氮化镓,多量子阱,铝镓氮EBL和P型氮化镓组成;步骤2:将该氮化镓LED外延片隔离成多个重复单元,每个单元就是一个独立的LED芯片;步骤3:对每个单元上表面的选定区域进行表面处理,使P型氮化镓的表层的中心区域形成电流阻挡层;步骤4:在每个单元上表面制作P电极,该P电极覆盖整个电流阻挡层及P型氮化镓,完成氮化镓基发光二极管电流阻挡层的制作。
【技术特征摘要】
1.一种氮化镓基发光二极管电流阻挡层的制作方法,包括如下步骤步骤1 取一氮化镓LED外延片,该外延片由衬底,N型氮化镓,多量子阱,铝镓氮EBL和 P型氮化镓组成;步骤2 将该氮化镓LED外延片隔离成多个重复单元,每个单元就是一个独立的LED芯片;步骤3 对每个单元上表面的选定区域进行表面处理,使P型氮化镓的表层的中心区域形成电流阻挡层;步骤4 在每个单元上表面制作P电极,该P电极覆盖整个电流阻挡层及P型氮化镓, 完成氮化镓基发光二极管电流阻挡层的制作。2.根据权利要求1所述的氮化镓基发光二极管电流阻挡层的制作方法,其中的衬底包括蓝宝石、硅或碳化硅。3.根据权利要求1所述的氮化镓基发光二极管电流阻挡层的制作方法,其中的N型氮化镓为非故意掺杂的氮化镓和掺...
【专利技术属性】
技术研发人员:郭恩卿,伊晓燕,汪炼成,孙波,王国宏,
申请(专利权)人:中国科学院半导体研究所,
类型:发明
国别省市:11
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