采用金属源化学气相沉积技术制备极性可控氧化锌的方法技术

本发明专利技术公开了一种采用金属源化学气相沉积技术制备极性可控氧化锌的方法，包括：在c-面蓝宝石衬底上生长一层氧化锌膜；对生长有氧化锌膜的蓝宝石衬底进行降温；去掉蓝宝石衬底上生长的氧化锌膜；以及在c-面蓝宝石衬底上进行第二次生长一层氧化锌膜；其中，在降温过程中进行原位退火处理得到的是锌极性，进行直接快速降温得到的是氧极性。本发明专利技术的优点是不需要插入缓冲层，不需要对衬底进行特别的预处理，操作简便，重复性好。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及极性材料的极性控制生长，具体涉及一种采用金属源化学气相沉积 (MVPE)技术制备极性可控氧化锌的方法。
技术介绍
氧化锌是一种极性半导体，其极性面分别是(0001)和(000-1)，前者也称锌面或 +c面，后者也称氧面或-C面。极性半导体的外延层如果沿着不同的极性方向生长，得到的材料性质，特别是表面性质往往有很大的不同。目前氧化锌异质外延的极性控制主要是在MBE上通过衬底预处理或缓冲层实现的，而很少有关于化学气相沉积法生长极性可控氧化锌的报道。
技术实现思路
(一 )要解决的技术问题有鉴于此，本专利技术的主要目的是提供一种采用MVPE技术制备极性可控氧化锌的方法。( 二 )技术方案为达到上述目的，本专利技术提供了一种，包括在C-面蓝宝石衬底上生长一层氧化锌膜；对生长有氧化锌膜的蓝宝石衬底进行降温；去掉蓝宝石衬底上生长的氧化锌膜；以及在C-面蓝宝石衬底上进行第二次生长一层氧化锌膜；其中，在降温过程中进行原位退火处理得到的是锌极性，进行直接快速降温得到的是氧极性。上述方案中，所述在C-面蓝宝石衬底上生长一层氧化锌膜，包括生长时，衬底温度为795°C，锌舟温度为720°C，H2本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种采用金属源化学气相沉积技术制备极性可控氧化锌的方法，其特征在于，包括：在ｃ－面蓝宝石衬底上生长一层氧化锌膜；对生长有氧化锌膜的蓝宝石衬底进行降温；去掉蓝宝石衬底上生长的氧化锌膜；以及在ｃ－面蓝宝石衬底上进行第二次生长一层氧化锌膜；其中，在降温过程中进行原位退火处理得到的是锌极性，进行直接快速降温得到的是氧极性。

【技术特征摘要】
1.一种采用金属源化学气相沉积技术制备极性可控氧化锌的方法，其特征在于，包括在C-面蓝宝石衬底上生长一层氧化锌膜； 对生长有氧化锌膜的蓝宝石衬底进行降温； 去掉蓝宝石衬底上生长的氧化锌膜；以及在C-面蓝宝石衬底上进行第二次生长一层氧化锌膜；其中，在降温过程中进行原位退火处理得到的是锌极性，进行直接快速降温得到的是氧极性。2.根据权利要求1所述的采用金属源化学气相沉积技术制备极性可控氧化锌的方法， 其特征在于，所述在C-面蓝宝石衬底上生长一层氧化锌膜，包括生长时，衬底温度为795°C，锌舟温度为720°C，H20鼓泡瓶温度50°C ；生长开始时，Si比 H2O先通入30秒；气体流量为 和H2O载气分别为0. 4和3L/min，总流量9. 4L/min ；在该条件下，生长速率约为120-140 μ m/h。3.根据权利要求1所述的采用金属源化学气相沉积...

【专利技术属性】
技术研发人员：王晓峰，段垚，崔军朋，曾一平，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：11