【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种真空电引入装置，特别是涉及一种能够维持真空效果及避免 因无效放电而产生积碳的真空电引入装置。
技术介绍
现有一种真空电引入装置如中国台湾专利证书号码I 316969所示，安装于一个 内部具有真空腔室的腔壁上，该真空电引入装置包括一个连接于该腔壁的基座、一个移动 地穿设于该基座的活动导电棒，及一个连接并驱动该活动导电棒移动的驱动压缸，该活动 导电棒具有一个位于该真空腔室内的供电端，及一个位于该腔壁外侧以电连接输入电流的 入电端。通过该活动导电棒朝该真空腔室内移动并自该入电端供应高频率的输入电流，能 够使该供电端对位于该真空腔室内的待加工物产生电弧放电，进而对待加工物进行镀膜。然而，该活动导电棒整体于导电时会产生热量，由于热胀冷缩的影响，会使该活 动导电棒与该基座间产生微小的间隙，由于该活动导电棒同时还必须相对该基座移动，因 此使得密封度大为降低，而使该真空腔体内无法保持足够的真空，进而影响镀膜的效果，此 外，由于该活动导电棒位于该真空腔室内的表面皆会产生电弧放电，然而真正具有镀膜效 果的放电位置只在接近待加工物的端部，使得端部以外的其他部位会因为无效...
【技术保护点】
一种真空电引入装置，用于安装在一个真空腔体，该真空腔体包括一个腔壁、一个位于该腔壁内的真空侧，及一个位于该腔壁外的大气侧，其特征在于：该真空电引入装置包含一个活动单元及一个固定单元，该活动单元包括一个气密且活动地穿设于该腔壁的绝缘棒、一个位于该大气侧以驱动该绝缘棒的驱动模组，及一个位于该真空侧且连接该绝缘棒的电极模组，该固定单元包括一个气密地固设于该腔壁的导体，该导体具有一个位于该大气侧的入电端，及一个位于该真空侧并电连接该电极模组的供电端。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：黄一原，卢木森，张倧伟，谢礼谦，
申请(专利权)人：凌嘉科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]
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