当前位置: 首页 > 专利查询>索尼公司专利>正文

固态摄像元件及其制造方法及包括该摄像元件的摄像装置制造方法及图纸

技术编号:6300769 阅读:160 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供一种固态摄像元件及其制造方法以及摄像装置,该固态摄像元件包括:半导体层,其中形成用于执行光电转换的光敏二极管;第一膜,包含负固定电荷,并且利用原子层沉积法或金属有机化学气相沉积法形成在至少形成有光敏二极管的区域中的半导体层上;第二膜,包含负固定电荷,并且利用物理气相沉积法形成在其中包含负固定电荷的第一膜上;以及第三膜,包含负固定电荷,并且利用原子层沉积法或金属有机化学气相沉积法形成在其中包含负固定电荷的第二膜上。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种固态摄像元件,包括:半导体层,在该半导体层中形成用于执行光电转换的光敏二极管;第一膜,包含负固定电荷,并且利用原子层沉积法或金属有机化学气相沉积法形成在至少形成有所述光敏二极管的区域中的所述半导体层上;第二膜,包含负固定电荷,并且利用物理气相沉积法形成在其中包含所述负固定电荷的所述第一膜上;以及第三膜,包含负固定电荷,并且利用原子层沉积法或金属有机化学气相沉积法形成在其中包含所述负固定电荷的所述第二膜上。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:押山到宫田英治
申请(专利权)人:索尼公司
类型:发明
国别省市:JP[日本]

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1