光学检查装置和利用其的检查方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种光学检查装置和利用其的检查方法。该光学检查装置和利用其的检查方法能够提高检查效率。检查对象物（１０）放置在支承单元（１００）上。第一照明单元（４００）产生短波长的第一光，向检查对象物（１０）照射第一光。拍摄单元（２００）拍摄第一光所照射的检查对象物（１０）。伴随与此，光学检查装置（１０００）由于照射短波长的光拍摄检查对象物（１０），所以可以检查在检查对象物（１０）上形成的透明图案是否合格。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及对检查对象物进行检查的检查装置，更详细地说，涉及利用对检查对 象物进行拍摄得到的图像，对检查对象物进行检查的光学检查装置以及利用其的检查方 法。
技术介绍
显示影像的平板显示装置用于计算机和便携式终端机等多个领域。这样的平板显 示装置通过使用者的操作，把与其对应的信息作为影像显示。最近，为了使平板显示装置的操作变得容易，把触摸式面板应用于平板显示装置， 提高了使用者的便利性。触摸式面板包括坐标片，该坐标片用于生成使用者施加压力部位的位置值。由于 这样的触摸式面板设置在平板显示面板的上面，所以与平板显示面板显示影像的显示区域 对应的部分必须全部是透明材质。因此，坐标片包括透明的基体膜，在基体膜的上面形成用 于生成使用者施加压力部位的位置值的导电性透明图案和镀银图案。透明图案在与平板显示面板的显示区域对应的区域上形成，由与氧化铟锡或氧化 铟锌相同的材料构成。镀银图案在与包围显示区域的周围区域对应的区域上形成，与生成 使用者施加压力部分的位置值的外部装置以及透明图案和电路板连接。特别是由于坐标片的基体膜和透明图案全都是透明的，所以通过利用探针检查装 置这样的利用电信号的检查装置可以进行检查，而在用肉眼或摄像机的情况下不能进行检 查。专利文献1 韩国专利公开公报第10-2009-0039412号
技术实现思路
鉴于要解决上述问题，本专利技术的目的是提供一种可以提高检查效率的光学检查装置。本专利技术另外的目的是提供一种利用光学检查装置的检查方法。用于实现所述本专利技术目的的第一方面的光学检查装置包括支承单元、第一照明单 元以及拍摄单元。检查对象物放置在支承单元上。第一照明单元设置在支承单元的上部，产生短波 长的第一光，并向放置在支承单元上的检查对象物照射该第一光。拍摄单元拍摄第一光所 照射的检查对象物。此外，用于实现所述本专利技术目的的第二方面的光学检查装置包括支承单元、垂直 照明单元、第一倾斜照明单元和第二倾斜照明单元以及拍摄单元。形成有透明图案的检查对象物放置在支承单元的上表面上。垂直照明单元设置在 支承单元的上部，配置成长度方向的轴与支承单元的上表面垂直，产生短波长的第一光，并 向放置在支承单元上的检查对象物以线形的方式照射第一光。第一倾斜照明单元和第二倾斜照明单元设置在垂直照明单元的下方，产生第二光，向放置在支承单元上的检查对象物 以线形的方式照射第二光。射出第二光的所述第一倾斜照明单元的射出面和所述第二倾斜 照明单元的射出面配置成相对于检查对象物的检查面相互向相反的方向倾斜。拍摄单元设 置在第一照明单元的上部，拍摄第一光和第二光所照射的检查对象物。此外，用于实现所述本专利技术目的的第三方面的光学检查方法如下所述。首先边向 形成有透明图案的检查对象物照射短波长的第一光，边拍摄检查对象物。然后通过拍摄的 图像对 检查对象物进行检查。这样的光学检查方法还可以包括检查有色图案的工序边向检查对象物射出第二 光，边拍摄检查对象物，通过照射第二光拍摄的图像检查在对象物上形成的有色图案。用于实现所述本专利技术目的的第四方面的光学检查方法如下所述。首先边向形成 有透明图案和有色图案的检查对象物同时射出短波长的第一光和第二光，边拍摄检查对象 物。然后通过拍摄的图像对检查对象物进行检查。按照本专利技术，光学检查装置由于照射短波长的光对检查对象物进行拍摄，所以利 用拍摄的图像可以检查在检查对象物上形成的透明图案，可以提高检查效率。附图说明图1是简要表示本专利技术一个实施方式的光学检查装置的侧视图。图2是表示具有触摸式面板的平板显示装置的剖视图。图3是表示图2所示的坐标片的俯视图。图4是表示图1所示的支承板的俯视图。图5是沿图4的剖切线1-1’的剖视图。图6是表示图1所示的垂直照明单元以及第一倾斜照明单元和第二倾斜照明单元 的侧视图。图7是表示图6所示的垂直照明单元以及第一倾斜照明单元和第二倾斜照明单元 的主视图。图8是表示图6所示的垂直照明单元的侧视图。图9是表示图8所示的第一照明主体的剖视图。图10是表示图9所示的第一照明主体的另一个例子的剖视图。图11是表示图6所示的第一倾斜照明单元的侧视图。图12是表示利用图1所示的光学检查装置检查ITO膜的检查方法的流程图。图13A和图13B是表示ITO膜的检查图像的一部分的图。图14是表示图12所示的ITO膜检查方法的其它实施方式的流程图。图15是表示同时射出蓝光和白光生成的ITO膜的检查图像一部分的图。附图标记说明100支承单元200拍摄单元310移动构件400垂直照明单元501、502倾斜照明单元(501第一倾斜照明单元；502第二倾斜照明单元)610 托架700控制单元1000光学检查装置具体实施方式 下面，参照附图对本专利技术优选的实施方式进行详细说明。下面作为本专利技术的光学 检查装置检查的检查对象物，以在影像显示装置中使用的触摸式面板用坐标片为例进行说 明，但本专利技术的技术思想和范围不限于此。图1是简要表示本专利技术一个实施方式的光学检查装置的侧视图。参照图1，光学检查装置1000包括支承单元100，放置检查对象物10 ；拍摄单元 200，拍摄检查对象物10 ；移动构件310，使拍摄单元200移动；垂直照明单元400、第一倾斜 照明单元501和第二倾斜照明单元502，向检查对象物10照射光；以及控制单元700。在该实施方式中，光学检查装置1000检查的检查对象物10是在触摸式面板中使 用的ITO膜10。下面，参照附图，对应用触摸式面板的平板显示装置和氧化铟锡(Indium Tin Oxide,以下称为ΙΤ0)膜10的结构进行简要说明。图2是表示具有触摸式面板的平板显示装置的剖视图，图3是表示图2所示的坐 标片的俯视图。参照图2和图3，平板显示装置包括触摸式面板30 ；液晶显示面板40，配置在触 摸式面板30的下方；以及位置检测部50，与触摸式面板30连接。触摸式面板30包括ΙΤ0 膜10 ；以及上板20，该上板20配置在ITO膜10的上部。在ITO膜10上，作为用于生成使 用者施加压力的加压部位的位置值的坐标片，在透明的基板11的上面形成导电性透明图 案12和作为有色图案的镀银图案13。在该实施方式中，触摸式面板30把由ITO形成透明图案12的ITO膜10作为坐标 片，除了 ITO以外，也可以具有由氧化铟锌(Indium ZincOxide, IZ0)等多种透明的导电性 金属材料形成的透明图案12。透明图案12，也就是ITO图案12，位于与液晶显示面板40上的显示影像的显示区 域对应的区域。在该实施方式中，ITO图案12具有锯齿形的形状，但也可以是格子形等多 种多样的形状。镀银图案13位于与液晶显示面板40上的包围显示区域的周围区域对应的区域。 镀银图案13由导电性材料构成，与生成使用者施加压力部分的位置值的位置检测部50和 透明图案12连接，或与外部的电路板连接。在触摸式面板30下方的液晶显示面板40包括薄膜晶体管基板41，由薄膜晶体 管以阵列方式形成；彩色滤光片基板42，由彩色滤光片形成；以及液晶层43，夹在薄膜晶体 管基板41和彩色滤光片基板42中间。触摸式面板30除了可以应用于这样的液晶显示面 板40以外，还可以应用于其它多种平板显示面板。参照图1和图2，光学检查装置1000拍摄所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学检查装置，其特征在于包括：支承单元，放置检查对象物；第一照明单元，设置在所述支承单元的上部，产生短波长的第一光，并向放置在所述支承单元上的所述检查对象物照射该第一光；以及拍摄单元，拍摄所述第一光所照射的所述检查对象物。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：崔铉镐，金敏秀，
申请(专利权)人：AJU高技术公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]