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本发明提供一种光学检查装置和利用其的检查方法。该光学检查装置和利用其的检查方法能够提高检查效率。检查对象物（１０）放置在支承单元（１００）上。第一照明单元（４００）产生短波长的第一光，向检查对象物（１０）照射第一光。拍摄单元（２００）拍摄第...
该专利属于ＡＪＵ高技术公司所有，仅供学习研究参考，未经过ＡＪＵ高技术公司授权不得商用。

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