本发明公开了能夹紧薄膜同时保持薄膜平面度的薄膜夹紧装置。薄膜夹紧装置包括可旋转地安装在薄膜夹紧装置中的固定单元、驱动电机单元、移动单元、夹具旋转装置、夹具单元以及张力调整单元。薄膜夹紧装置有效地夹紧薄膜同时在夹紧的薄膜的检查区中保持薄膜...

本发明在此公开了一种用于防止光学检查中错误检测的系统和方法，防止由落在基底图案引线上或引线间的杂质、灰尘等等引起的错误检测，基底是用在制造各种半导体集成电路（ＩＣｓ）中的主要部件部分。该方法包括如下步骤，如果在图案的透射光图象中检测到可...