【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅片切割
，特别是涉及一种用于检测硅片多线切割机是 否发生断线现象的检测电极。本技术还涉及包括上述检测电极的硅片多线切割机接地 检测系统。
技术介绍
硅片是半导体和光伏领域的主要生产材料，它不同于传统的刀锯片、砂轮片等切 割方式，也不同于先进的激光切割和内圆切割，它的原理是通过金属丝的高速往复运动，把 磨料带入半导体加工区域进行研磨，将硅块材料一次同时切割为数百片薄片，在整个过程 中，钢线通过十几个导线轮的引导，在轴辊上形成一张线网，而待加工工件通过工作台的下 降实现工件的进给。硅片多线切割技术与其他技术相比具有效率高、产能高、精度高等优点，已逐渐取 代了传统的内圆切割，成为硅片切割加工的主要方式。但断丝现象一直是线切割加工中的 一个严重问题，它使加工停顿并不得不从头开始，浪费大量工时，破坏了加工面的完整性， 增加了实现无人操作加工的困难，阻碍线切割工艺的进一步发展。研究发现，能引起断丝现象的因素有很多，如电参数选择不当、进给调节不当、工 作液使用不当等原因，都有可能引发断丝现象，其成因极为复杂，因此，目前还没有任何技 术手段能完全杜绝断丝现象，...
【技术保护点】
一种检测电极，用于硅片多线切割机接地检测系统，包括电极杆以及位于所述电极杆两端的支撑板，其特征在于，所述支撑板之间设有两根上、下间隔且相互平行的电极杆。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：殷贵宝，陈乐，
申请(专利权)人：英利能源中国有限公司，
类型：实用新型
国别省市：13[]
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