下载硅片多线切割机接地检测系统及其检测电极的技术资料

文档序号:6243043

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本实用新型公开了一种检测电极,用于硅片多线切割机接地检测系统,包括电极杆以及位于所述电极杆两端的支撑板,所述支撑板之间设有两根上、下间隔且相互平行的电极杆,所述两根电极杆在电路上相串联。该检测电极可同时固定上、下两根金属电极杆,线网可在两根...
该专利属于英利能源(中国)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英利能源(中国)有限公司授权不得商用。

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