一种等离子体清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种等离子体清洗装置，包括主要由气体供应装置、真空装置和控制装置组成的外围设备和主体设备，所述的控制装置包括气路单元和电路单元，主体设备主要由微波系统和反应装置组成，微波系统包括微波室、设置于所述的微波室内的微波源及与所述的微波源电连接的微波控制电路，反应装置包括设置于所述的微波室内的石英罩、设置于所述的微波室内且设置于所述的石英罩下方的反应室底座及由所述的石英罩和所述的反应室底座围成的空间构成的反应室，所述的微波控制电路通过主体设备电源线与所述的电路单元相连接，所述的反应室通过主进气管与所述的气路单元相连接，所述的反应室通过排气管与所述的真空装置相连接，所述的气体供应装置通过分进气管与所述的气路单元相连接，所述的真空装置通过真空装置电源线与所述的电路单元相连接。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种等离子体清洗装置，包括主体设备和外围设备，所述的外围设备主要由气体供应装置、真空装置和控制装置组成，其特征在于所述的控制装置包括气路单元和电路单元，所述的主体设备主要由微波系统和反应装置组成，所述的微波系统包括微波室、设置于所述的微波室内的微波源及与所述的微波源电连接的微波控制电路，所述的反应装置包括设置于所述的微波室内的石英罩、设置于所述的微波室内且设置于所述的石英罩下方的反应室底座及由所述的石英罩和所述的反应室底座围成的空间构成的反应室，所述的微波控制电路通过主体设备电源线与所述的电路单元相连接，所述的反应室通过主进气管与所述的气路单元相连接，所述的反应室通过排气管与所述的真空装置相连接，所述的气体供应装置通过分进气管与所述的气路单元相连接，所述的真空装置通过真空装置电源线与所述的电路单元相连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周骏，林豪，仰明阳，颜飞彪，
申请(专利权)人：宁波大学，
类型：实用新型
国别省市：97[中国|宁波]