TE偏振的双脊熔石英1×5分束光栅制造技术

一种用于800纳米波长的TE偏振的双脊熔石英1×5分束光栅，该分束光栅的光栅周期为1830～1850纳米，每个光栅周期内两个脊宽分别为143～146纳米和500～508纳米，两脊之间距为594～597纳米，脊深为872～875纳米。当TE偏振光垂直入射时，其透射光将分成等强度的5束光，这5束光总的衍射效率大于96％，并且其均匀性优于5％。本发明专利技术TE偏振双脊熔石英透射1×5分束光栅由电子束直写装置结合微电子深刻蚀工艺加工而成，取材方便，造价小，能大批量生产，具有重要的实用前景。

【技术实现步骤摘要】

本专利涉及透射分束光栅，特别是一种用于800纳米波长的TE偏振的双脊熔石英 1X5分束光栅。
技术介绍
分束器是光学系统中的基本元件，在光学系统中有着重要的应用。在光通信、光信息处理、光计算、全息等等系统中有着不可替代的作用。传统的多层膜结构分束器，由于工艺复杂，成本昂贵，而且激光破坏阈值不高。今年来兴起的光子晶体作为分束器，也同样存在着成本高，制造困难等缺点。熔融石英是一种理想的光栅材料，它具有高光学质量稳定的性能、高损伤阈值和从深紫外到远红外的宽透射谱，并且由熔融石英设计制作高效率分束光栅，结构简单，工艺流程简单。因此，刻蚀高密度深刻蚀熔融石英光栅作为新型的分束器件具有广泛的应用前景。对熔石英光栅，其作为分束器的研究中最为常见的是光在利特罗条件下入射，即入射角为布拉格角。在利特罗条件下的高密度深刻蚀光栅，有极好的偏振相关性，可以用于制作偏振分束器，宽带的1/4玻片等。对于矩形槽型光栅，另外一种较为常见的光入射方式是垂直入射，即入射角是零度。Jiangjun Zheng等人设计了一种布拉格角入射下的高效率透射式三角熔石英分束光栅，其TE与TM波透射效率在140纳米波长范围内高于9本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种用于８００纳米波长的ＴＥ偏振的双脊熔石英１×５分束光栅，其特征在于该分束光栅的光栅周期为１８３０～１８５０纳米，每个光栅周期内两个脊宽分别为１４３～１４６纳米和５００～５０８纳米，两脊之间距为５９４～５９７纳米，脊深为８７２～８７５纳米。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周常河，吴俊，曹红超，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：31