基片传输设备制造技术

本发明专利技术公开了一种基片传输设备，用于实现基片在各种工艺腔体中传输，其中，所述基片传输设备包括驱动装置、传动轮、橡胶条及承载基片用的基片载体，所述基片载体呈平板结构且两侧边分别固定有所述橡胶条，所述传动轮设置于所述基片载体的两侧且与所述橡胶条过盈配合，所述驱动装置与所述传动轮连接，所述驱动装置通过所述传动轮带动所述基片载体运动。本发明专利技术基片传输设备能实现基片在各种工艺腔体中匀速、无震动地传输。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及有机发光二极管生产制造领域，更具体地涉及一种能实现基片在各种工艺腔体中勻速、无震动地传输的基片传输设备。
技术介绍
有机发光显示屏，0LED，即有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode)，又称为有机电激光显示(Organic Electroluminesence Display，0ELD)。因为具备轻薄、省电等特性，OLED显示技术与传统的LCD显示方式不同，无需背光灯，采用非常薄的有机材料涂层和玻璃基板，当有电流通过时，这些有机材料就会发光。而且OLED显示屏幕可以做得更轻更薄，可视角度更大，并且能够显著节省电能。OLED的基本结构是由一薄而透明具半导体特性之铟锡氧化物(ITO)，与电力之正极相连，再加上另一个金属阴极，包成如三明治的结构。整个结构层中包括了 空穴传输层 (HTL)、发光层(EL)与电子传输层(ETL)。当电力供应至适当电压时，正极空穴与阴极电荷就会在发光层中结合，产生光亮，依其配方不同产生红、绿和蓝RGB三原色，构成基本色彩。 OLED的特性是自己发光，不像TFT LCD需要背光，因此可视度和亮度均高，其次是电压需求低且省电效率高，加上反应快、重量轻、厚度薄，构造简单，成本低等，被视为21世纪最具前途的产品之一。OLED基片在加工的过程中需要在真空腔体中有效的传动的传输结构，目前现有常用的基片传输设备10(Τ是如图1所示齿轮r及基片基片载体基片基片载体 上设置有齿条;T，通过齿轮f与齿条3、的啮合来传动基片载体2、的目的，但是采用齿轮f与齿条;T啮合的要求比较高，且在不同时段调节同步时比较复杂，使用过程中由于机械松动会产生齿轮、齿条啮合问题。因此，亟需一种能实现基片在各种工艺腔体中勻速、无震动地传输的基片传输设备。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种能实现基片在各种工艺腔体中勻速、无震动地传输的基片传输设备。为了实现上述目的，本专利技术的技术方案是一种基片传输设备，用于实现基片在各种工艺腔体中传输，其中，所述基片传输设备包括驱动装置、传动轮、橡胶条及承载基片用的基片载体，所述基片载体呈平板结构且两侧边分别固定有所述橡胶条，所述传动轮设置于所述基片载体的两侧且与所述橡胶条过盈配合，所述驱动装置与所述传动轮连接，所述驱动装置通过所述传动轮带动所述基片载体运动。较佳地，所述传动轮为齿轮。采用所述齿轮与所述硅橡胶过盈配合，且所述橡胶条是硅胶材质的材料制成的，所述齿轮与所述硅胶材质的橡胶条之间的摩擦力使得所述基片载体前进或者后退，此结构安装调试简单，无需调试在各个模块之间的齿轮的同步问题，就能够让所述基片载体在各个工艺腔中勻速、无震动地传输。较佳地，所述传动轮为滚轮。采用所述滚轮与所述橡胶条过盈配合，且所述橡胶条是硅胶材质的材料制成的，所述滚轮与所述硅胶材质的橡胶条之间的摩擦力使得所述基片载体前进或者后退，且所述滚轮与所述硅胶材质的橡胶条配合时，对所述硅胶材质的橡胶条造成的损害甚微，有利于设备的长期使用，此结构安装调试简单，无需调试在各个模块之间的滚轮的同步问题，就能够让所述基片载体在各个工艺腔中勻速、无震动地传输。与现有技术相比，由于在本专利技术基片传输设备中，所述传动轮设置于所述基片载体的两侧且与所述橡胶条过盈配合，所述驱动装置与所述传动轮连接，所述驱动装置通过所述传动轮带动所述基片载体运动。本专利技术基片传输设备安装时应根据所述基片载体的运行情况调节所述传动轮与所述橡胶条之间的的过盈量，不可过紧，亦不可过松，过紧容易损坏所述橡胶条，而过松会让所述传动轮与所述橡胶条出现滑动的现象。所述橡胶条与所述基片载体靠粘合连接，而所述橡胶条能够耐300摄氏度的高温，且韧性好，不影响真空环境的优良特点。值得一提的是，单边所述传动轮的运转方向及速度应是同步，且与对边所述传动轮运转方向相反，才能确保基片载体向前或向后的正常运动。本专利技术基片传输设备改变了以前对齿轮、齿条的啮合要求比较高，且在不同的模块调节同步的方式比较复杂，避免了使用过程中由于机械松动而产生齿轮、齿条啮合不良的问题。通过以下的描述并结合附图，本专利技术将变得更加清晰，这些附图用于解释本专利技术的实施例。附图说明图1为本专利技术基片传输设备一个实施例的结构示意图。图2为本专利技术基片传输设备另一个实施例的结构示意图。具体实施例方式现在参考附图描述本专利技术的实施例，附图中类似的元件标号代表类似的元件。如上所述，如图1及图2所示，本专利技术提供的基片传输设备100，用于实现基片1在各种工艺腔体中传输，其中，所述基片传输设备100包括驱动装置(图上未示)、传动轮20a、橡胶条30 及基片载体10，所述基片载体10呈平板结构用于承载基片1，且两侧边分别固定有所述橡胶条30，所述传动轮20a设置于所述基片载体10的两侧且与所述橡胶条30过盈配合，所述驱动装置与所述传动轮20a连接，所述驱动装置通过所述传动轮20a带动所述基片载体10 运动。较佳者，如图1所示，所述传动轮20a为齿轮，采用所述齿轮与所述橡胶条30过盈配合，且所述橡胶条30是硅胶材质的材料制成的，所述齿轮与所述硅胶材质的橡胶条30之间的摩擦力使得所述基片载体10前进或者后退，此结构安装调试简单，无需调试在各个模块之间的传动轮20a的同步问题，安装便可直接使用，就能够让所述基片载体10在各个工艺腔中勻速、无震动地传输。较佳者，如图2所示，所述传动轮20b为滚轮。采用所述滚轮与所述橡胶条30过盈配合，且所述橡胶条30是硅胶材质的材料制成的，所述滚轮与所述硅胶材质的橡胶条30 之间的摩擦力使得所述基片载体10前进或者后退，且所述滚轮与所述橡胶条30配合时，对所述橡胶条30造成的损害甚微，有利于增长设备的寿命，此结构安装调试简单，无需调试在各个模块之间的滚轮的同步问题，安装便可直接使用，就能够让所述基片载体10在各个工艺腔中勻速、无震动地传输。与现有技术相比，由于在本专利技术基片传输设备100中，所述传动轮20a设置于所述基片载体10的两侧且与所述橡胶条30过盈配合，所述驱动装置与所述传动轮20a连接，所述驱动装置通过所述传动轮20a带动所述基片载体10运动。本专利技术基片传输设备100安装时应根据所述基片载体10的运行情况调节所述传动轮20a与所述橡胶条30之间的的过盈量，不可过紧，亦不可过松，过紧容易损坏所述橡胶条30，而过松会让所述传动轮与所述橡胶条30出现滑动的现象。所述橡胶条30与所述基片载体10靠粘合连接，而所述橡胶条 30能够耐300摄氏度的高温，且韧性好，不影响真空环境的优良特点。值得一提的是，单边所述传动轮的运转方向及速度应是同步，且与对边所述传动轮运转方向相反，才能确保基片载体10向前或向后的正常运动。本专利技术基片传输设备100改变了以前对齿轮、齿条的啮合要求比较高，且在不同的模块调节同步的方式比较复杂，避免了使用过程中由于机械松动而产生齿轮、齿条啮合不良的问题。以上结合最佳实施例对本专利技术进行了描述，但本专利技术并不局限于以上揭示的实施例，而应当涵盖各种根据本专利技术的本质进行的修改、等效组合。权利要求1.一种基片传输设备，用于实现基片在各种工艺腔体中传输，其特征在于所述基片传输设备包括驱动装置、传动轮、橡胶条及承载基片用的基片载体，所述基片载体呈平板结构且两侧边分别固定有本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种基片传输设备，用于实现基片在各种工艺腔体中传输，其特征在于：所述基片传输设备包括驱动装置、传动轮、橡胶条及承载基片用的基片载体，所述基片载体呈平板结构且两侧边分别固定有所述橡胶条，所述传动轮设置于所述基片载体的两侧且与所述橡胶条过盈配合，所述驱动装置与所述传动轮连接，所述驱动装置通过所述传动轮带动所述基片载体运动。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨明生，王学敬，刘惠森，范继良，王曼媛，
申请(专利权)人：东莞宏威数码机械有限公司，
类型：发明
国别省市：44