A substrate floating apparatus, in which the substrate (2) floating state, the lifting mechanism (6), which is arranged on the supporting member (10) on the front end of the contact member (13) increased, the contact member (13) in contact with the substrate (2) on the back of the substrate, thereby limiting the floating (2) mobile.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种使如液晶显示器(IXD)等平板显示器(FPD)中所使用的玻璃基板上浮的基板上浮装置。
技术介绍
例如对IXD玻璃基板进行检查的情况下，必须把玻璃基板对准到基准位置上。例如特开平8-313815号公报公开了玻璃基板定位装置。该定位装置中，借助球滚轮(ball caster)，将保持台载置于XY工作台上，该保持台用于吸附保持玻璃基板，利用压紧汽缸的作用力移动该保持台，并把玻璃基板的侧缘直接压接到各基准销上进行对准。随着玻璃基板的尺寸增大，吸附保持玻璃基板的保持台和XY工作台的尺寸也在增大。尤其，XY工作台中，为了在XY方向上移动玻璃基板并用显微镜来观察玻璃基板的整面，必需具有相当于玻璃基板的4倍的安装空间，使整个装置尺寸增大。并且，随着保持台尺寸的增大，重量也增大，当移动保持台，并将玻璃基板的侧缘直接压接到各基准销上时， 其冲击力有可能使玻璃基板破损。并且，在特开2000-9661号公报中公开的技术是在滚轮传送部的多个滚轮上载置了玻璃基板的状态下，利用汽缸的动作，把玻璃基板压接到定位销上进行对准。这种对准方法中，随着玻璃基板的增大，玻璃基板与多个滚...
【技术保护点】
１．一种基板上浮装置，在玻璃基板和上浮台之间形成空气层而使上述玻璃基板水平上浮，其特征在于，具有基板保持机构，该基板保持机构使接触构件与通过上述空气层上浮于上述上浮台之上的上述玻璃基板的背面接触，通过上述玻璃基板和上述接触构件之间的摩擦力限制上述玻璃基板的移动；上述基板保持机构还具有第一弹性构件，该第一弹性构件对上述接触构件向对上述玻璃基板的上述背面按压的方向施力，通过该第一弹性构件的弹力将上述接触构件按压到上述玻璃基板的上述背面，而对上浮于上述上浮台之上的上述玻璃基板的上述背面施加上述摩擦力来限制移动。
【技术特征摘要】
...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。