用于超级无尘室冲击敏感玻璃板的无杂质处理的方法与装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种方法和装置，用于无杂质地、对薄的、冲击敏感的晶体板、尤其是玻璃板（１１）的精确限定的水平定向和接下来传送到预定竖直位置。该玻璃板（９）被定位、传送、提供到正确的位置以进一步处理而无需工业机器人且不会被人工污染。该装置价格低廉且操作安全。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于超级无尘室冲击敏感玻璃板的无杂质处理的方法与装CP
技术介绍
半导体生产技术中，基本的必需是在超级无尘室中处理晶体结构，特别是玻璃板。 随着时间推移，光生伏打与TFT屏幕和其它产品的生产已被证明是这项生产技术的重要应 用领域。剪裁后的太阳电池组件使得栅格与型面建立的精确集成成为可能。半透明的太阳 能电池，以及具有透明区的不透明太阳能电池，使得光生伏打窗仿佛充满着光。此间，太阳 能电池常常具有防太阳与强光的预期效果。这种光生伏打系统的生产需要一些工作条件，比如集成电子电路生产的传统基本 条件。然而，光生伏打系统的生产中，这些所谓的无尘室条件又使得处理具有大表面面积的 冲击敏感玻璃板成为必需。冲击敏感板的生产与进一步处理也是大平面屏幕的生产中所需要的，并且需求量 巨大。现代平面屏幕日益地替代老的电子管监视器，也越来越便宜。这基于TFT/LCD技术。 在本文中，LCD(液晶显示器)代表在屏幕的个体像素使用液晶，TFT代表薄膜晶体管。TFT 是很小的晶体管元件，其控制液晶的方向，并由此控制液晶的透光性。一个平面屏幕显示器包含众多像素。而每个像素包含3个IXD单元(子像素)，对 应红、绿、蓝三种本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种装置，用于超级无尘室条件下无杂质的、精确限定水平定向与定位的薄的、冲击敏感的晶体板，尤其是玻璃板（１１），该装置包含下列特征：ａ）具有辊子（２）与驱动（３）的辊式运输机，ｂ）定向单元，具有提升框架（８）与置于其上的定向框架（５），其中，定向框架（５）具有横拉条（４），横拉条（４）以铰接方式连接其上从而可以转动，横拉条（４）具有支撑构件并且穿过辊子（２）之间的自由空隙，伸出辊子（２）的支持水平之外并支撑玻璃板（９），ｃ）两个滑动元件，其通过驱动（６）操作，每个可独立控制并在旋转联接（７）中转动。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】DE 2007-10-31 102007052027.3一种装置，用于超级无尘室条件下无杂质的、精确限定水平定向与定位的薄的、冲击敏感的晶体板，尤其是玻璃板(11)，该装置包含下列特征a)具有辊子(2)与驱动(3)的辊式运输机，b)定向单元，具有提升框架(8)与置于其上的定向框架(5)，其中，定向框架(5)具有横拉条(4)，横拉条(4)以铰接方式连接其上从而可以转动，横拉条(4)具有支撑构件并且穿过辊子(2)之间的自由空隙，伸出辊子(2)的支持水平之外并支撑玻璃板(9)，c)两个滑动元件，其通过驱动(6)操作，每个可独立控制并在旋转联接(7)中转动。2.如权利要求1所述的装置，其特征在于其中辊式运输机的驱动以锥齿轮传动的形式进行。3.如权利要求1所述的装置，其特征在于其中辊子(2)每个都装备有专用的伺服驱动。4.如前述权利要求之一所述的装置，其特征在于其中提升框架(8)利用驱动进行举起，该驱动通过杠杆联动和螺纹杆的缩短产生提升 元件的偏转。5.如前述权利要求之一所述的装置，其特征在于其中横拉条(4)上的支撑构件由PEEK塑料制品生产。6.如前述权利要求之一所述的装置，其特征在于其中机械运动部件以不外露的方式进行密封并用耐磨材料生产。7.如前述权利要求之一所述的装置，其特征在于其中玻璃板(11)的定位利用激光器和/或传感器进行监控。8.如前述权利要求之一所述的装置，其特征在于其中柔性的供应通道(12)具有专用的负压抽提系统。9.一种处理方法，用于超级无尘室条件下无杂质的、精确限定水平定向与定位的薄的、 冲击敏感的晶体板，尤其是玻璃板(11)，该装置包含下列特征a)在超级无尘室中，玻璃板(9)在定向单元上通过具有辊子(2)和驱动(3)的辊式运 输机进行传送，辊子(2)成组或者独立地通过利用伞形齿轮的驱动...

【专利技术属性】
技术研发人员：沃尔夫冈尼维拉，
申请(专利权)人：格林策巴赫机械制造有限公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]