下载用于超级无尘室冲击敏感玻璃板的无杂质处理的方法与装置的技术资料

文档序号:5431639

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本发明公开了一种方法和装置,用于无杂质地、对薄的、冲击敏感的晶体板、尤其是玻璃板(11)的精确限定的水平定向和接下来传送到预定竖直位置。该玻璃板(9)被定位、传送、提供到正确的位置以进一步处理而无需工业机器人且不会被人工污染。该装置价格低廉...
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